Granville-Phillips系列390 Micro-lon ATM模塊(GP 390型真空計)
真空測量解決方案
Granville-Phillips的Micro-lon ATM模塊復合了經(jīng)標定的Micro-lon電離規(guī)技術(shù)和微型Conductron熱損失傳感技術(shù)和兩個壓阻薄膜傳感器于一體，從而提供了從高真空到大氣壓的精確、連續(xù)的壓力測量。
GP 390型真空計運用薄膜傳感器技術(shù)，該產(chǎn)品可以提供近大氣端的精確的絕壓測量并能提供大氣端真空腔室內(nèi)精準的相對壓力指示。GP 390型真空計*的傳感器設計消除了在高壓力下影響熱損失傳感器特性的熱效應。 GP 390型真空計這種小型的模塊復合了全部四種傳感器及控制電子器件于一個緊湊的一體化設計中，減少了腔室真空規(guī)管的需求數(shù)量并zui小化所占空間。全量程壓力測量可以通過單一模擬量信號或可選的串行RS-485或DeviceNet數(shù)字協(xié)議輸出。GP 390型真空計RS-485和DeviceNet版本產(chǎn)品可以zui多選擇三個設定點繼電器用于工藝控制，可以在真空壓力測量范圍內(nèi)設定任意壓力值或者相對壓力值。
GP 390型真空計復合規(guī)管技術(shù)
以往，在寬量程范圍內(nèi)要進行精確測量需要對個傳感器，多個真空系統(tǒng)接口，以及相關(guān)電纜及電子器件。Granville-Phillips的Micro-lon ATM模塊（GP 390型真空計）合并多傳感器于一個微機控制設計中，減少了整體購置成本，同時提高真空測量性能。
Granville-Phillips將20多年成功的規(guī)管設計以及現(xiàn)場裝機經(jīng)驗運用到了生產(chǎn)新的真空測量標準產(chǎn)品Micro-lon ATM模塊（GP 390型真空計）中。量程寬、高性能、及緊湊型設計的Micro-lon ATM（GP 390型真空計）是您進行高真空系統(tǒng)壓力測量的明智之選。
GP 390型真空計內(nèi)部截面
GP 390型真空計特點與優(yōu)勢：
寬量程范圍：提供從10-9Torr到大氣壓的真空壓力的連續(xù)測量。
高性能：經(jīng)過驗證的Micro-lon雙燈絲電離規(guī)技術(shù)，獲的熱損失傳感器，以及精準的薄膜技術(shù)消除了熱損失傳感器的熱影響，增強了高壓力的測量性能。
自動控制：完整集成的傳感器自動控制激活和斷開電離規(guī)，因此簡化了規(guī)管操作。設定點的產(chǎn)品中，觸點繼電器可用來控制其他真空器件或?qū)崿F(xiàn)安全互鎖。設定點會存于非易失性存儲器中。
緊湊設計：一個Micro-lon規(guī)管，一個熱損失傳感器連同一個大氣薄膜規(guī)、一個絕壓薄膜規(guī)，和控制器件全部集成在一個緊湊的模塊包中。
RS-485接口：允許模塊和主機之間進行通訊，并可使用可選的RS-485模塊配置進行通訊。
DeviceNet接口：可提供高速壓力測量讀數(shù)及簡單的規(guī)管配置參數(shù)的獲取。
可選的過程控制繼電器：zui多可用三個設定
GP 390型真空計傳感器開關(guān)點
點控制繼電器從而簡化工藝控制功能。設定點可以通過RS-485接口來配置。
現(xiàn)場可更換的規(guī)管組件：規(guī)管組件可以在模塊從真空系統(tǒng)上取下后僅僅使用螺絲刀就能實現(xiàn)快速簡單的更換。
GP 390型真空計技術(shù)規(guī)格
測量范圍（對于空氣或N2）（注釋1、2、3） | |
Torr | 1x10-9到大氣壓 |
Mbar | 1.33x10-9到大氣壓 |
Pa | 1.33x10-7到大氣壓 |
X射線極限（注釋4） | |
Torr | <3x10-10 |
Mbar | <4x10-10 |
Pa | <4x10-8 |
基于環(huán)境壓力的相對壓力測量范圍 | |
Torr | -750到+250 |
Mbar | -999到333 |
KPa | -99.9到33.3 |
精度（對于空氣或N2的絕壓）（注釋5） | |
Torr | 1x10-6到100mTorr：+/-15%讀數(shù)；100mTorr到150：+/-10%讀數(shù)；150到1000：+/-2.5%讀數(shù) |
Mbar | 1.33x10-6到0.133：+/-15%讀數(shù)；0.133到200：+/-10%讀數(shù)；200到1333：+/-2.5%讀數(shù) |
Pa | 1.33x10-6到13.3：+/-15%讀數(shù)；13.3到2x104：+/-10%讀數(shù)；2x104到1.33x105：+/-2.5%讀數(shù) |
重復性（對于空氣或N2的絕壓）（注釋6） | |
Torr | 1x10-6到100mTorr：+/-5%讀數(shù)；100mTorr到150：+/-2.5%讀數(shù)；150到1000：+/-1.0%讀數(shù) |
Mbar | 1.33x10-6到0.133：+/-5%讀數(shù)；0.133到200：+/-2.5%讀數(shù)；200到1333：+/-1.0%讀數(shù) |
Pa | 1.33x10-6到13.3：+/-5%讀數(shù)；13.3到2x104：+/-2.5%讀數(shù)；2x104到1.33x105：+/-1.0%讀數(shù) |
精度（相對壓力） | +/-（2.5Torr+2.5%讀數(shù)）；+/-（3.3mbar+2.5%讀數(shù)）；+/-（0.33KPa+2.5%讀數(shù)） |
響應時間 | <25毫秒 |
模擬量輸出 | |
壓力 | 對數(shù)，0.5到7.0VDC，0.5V/數(shù)量級 |
相對壓力 | 線性，1-5VDC，-750到+250Torr（-1000到+333mbar；-100到+33KPa） |
RS-485串口 | |
數(shù)字通訊口 | 2線，半雙工 |
通訊格式 | ASCII，無奇偶校驗位，1位停止位 |
波特率 | 1200,2400,4800,9600,19200（默認），38400 |
地址 | 0-63，通過地址選擇開關(guān)選擇或通過RS-485命令 |
DeviceNet網(wǎng)絡接口 | |
通訊類型 | 輪詢I/O和顯示傳送 |
通訊格式 | BOOL，BYTE，STRUCT，SSTRING，REAL，INT，UINT，USINT，EPATH和WORD數(shù)據(jù) |
波特率 | 125,250或500千波，開關(guān)選擇 |
地址 | 0-63，通過地址選擇開關(guān)選擇 |
工作溫度 | 10-400C（50-1040F）不結(jié)露 |
存放溫度 | -40-+700C（-40-+1580F）不結(jié)露 |
烘烤溫度 | zui高1050C（2210F），移除電子器件 |
電離規(guī)發(fā)射電流 | 自動量程切換 |
電離規(guī)自動控制設定（默認） | |
電離規(guī)啟動 | 2x10-2Torr；2.66x10-2mbar，2.66Pa，隨壓力上升關(guān)閉 |
電離規(guī)停止 | 3x10-2Torr；3.99x10-2mbar，3.99Pa，隨壓力上升關(guān)閉 |
切換至高發(fā)射 | 5x10-6Torr；6.66x10-6mbar，6.66x10-4Pa，隨壓力上升關(guān)閉 |
切換至低發(fā)射 | 1x10-5Torr；1.33x10-5mbar，1.33x10-3Pa，隨壓力上升關(guān)閉 |
電離規(guī)除氣 | 電子轟擊；每個燈絲3W一分鐘 |
電離規(guī)燈絲 | 鎢絲或鍍氧化釔的銥絲 |
燈絲操作（注釋7） | 交替（氧化釔燈絲的默認模式），自動，手動（鎢絲的默認模式） |
熱損失傳感絲 | 鍍金鎢 |
規(guī)管容積 | 10.8cm3（0.65in3） |
LED指示 | 模塊狀態(tài) |
I/O連接 | RS-485/模擬量：15針D型插針接頭，DeviceNet：5針微型接頭 |
zui大沖擊電流 | RS-485/模擬量：2A 48W 0.5秒，DeviceNet：0.25A |
供電要求 | RS-485/模擬量：24VDC+10%到-15%，1A 22W額定；DeviceNet：24VDC(11到26.4VDC)額定0.2A |
CE認證 | |
EMC電磁兼容指令 | 89/3361/EEC；EN50081-2，EN50082-2，EN1326-1 |
低壓指令 | 73/23/EEC；EN61010-1 |
顯示選項 | 圖形液晶 |
繼電器設定點選項 | 僅RS-485或DeviceNet：2SPDT(NO/NC)或3SPST(NO)，每個設定點都可以獨立分配給絕壓或相對壓力測量 |
繼電器觸點額定值 | |
zui大 | 1A 30VDC阻抗 |
zui小 | 5mA 5VDC阻抗 |
重量 | 728.5g（25.7oz）（2.75CF法蘭） |
外殼材料 | 壓鋁粉末噴涂 |
暴露于真空下的材質(zhì) | 304不銹鋼，鉭，鎢，銥絲鍍氧化釔，氧化鋁，銀銅焊料，可伐，可伐鍍金或鍍鎳，硅酸硼玻璃 |
GP 390型真空計注釋：
測量結(jié)果會隨不同氣體和混合情況而改變。
Micro-lon ATM模塊不能用于易燃易爆氣體測量。
大氣壓的數(shù)值是基于標定時環(huán)境壓力。
X射線極限是規(guī)管的zui小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進行重復測量。
精度（規(guī)管讀數(shù)和校驗參考標準之間的差異）是通過數(shù)據(jù)統(tǒng)計確定的并且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。
重復性是指同一模塊在不同時間讀取相同壓力值的能力。
在交替模式下模塊將交替激活電離規(guī)燈絲。在自動模式下燈絲1會先工作直至它不能工作為止，然后模塊自動切換到燈絲2工作。在手動模式下模塊會按照自動模式的操作方式讓燈絲工作，除非手動干預要求激活燈絲2。
GP 390型真空計尺寸
