Granville-Phillps系列347Stabil-lon模塊(GP 347型真空計(jì))
真空測量解決方案
模塊化真空計(jì)(GP 347型真空計(jì))是那些不需要前面板顯示和控制的應(yīng)用的理想解決方案。這些緊湊、方便、可靠、節(jié)約成本的模塊是將控制電子器件直接安裝在規(guī)管上實(shí)現(xiàn)的。全金屬包覆提供了堅(jiān)固的外殼和高水平的抗電氣噪音能力。
Stabil-lon模塊(GP 347型真空計(jì))
有模擬量型和DeviceNet型可選。DeviceNet型會(huì)有兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器。這些繼電器可以用于工藝控制或安全互鎖。DeviceNet型也可以提供顯示選項(xiàng),可以本地指示真空系統(tǒng)壓力的讀值。Stabil-lon模塊(GP 347型真空計(jì))是包括Mini-Convectron模塊、Micron-lon模塊和Micro-lonPlus模塊在內(nèi)的Granville-phillips模塊產(chǎn)品線的一部分。
Stabil-lon規(guī)管(GP 347型真空計(jì))技術(shù)
穩(wěn)定、精準(zhǔn)、可靠的Stabil-lon規(guī)管是多年測試和設(shè)計(jì)的成果。Stabil-lon規(guī)管(GP 347型真空計(jì))是僅有的不必隨時(shí)間推移而改變校準(zhǔn)值的高真空工藝控制規(guī)管。它擁有一系列獲的增強(qiáng)特性包括張緊的燈絲、精密繞制消除應(yīng)力的柵極、以及靜電屏蔽。這些在電離規(guī)中的增強(qiáng)成果使得它在精準(zhǔn)度、重復(fù)性以及規(guī)管與規(guī)管間的再現(xiàn)性等特性上都優(yōu)于其他設(shè)計(jì)。Stabil-lon規(guī)管(GP 347型真空計(jì))的高測量性能和穩(wěn)固的設(shè)計(jì)使其成為重要真空工藝的規(guī)管選擇。
Stabil-lon模塊(GP 347型真空計(jì))的特性及優(yōu)勢
寬量程:從1x10-9到2x10-2Torr的連續(xù)真空系統(tǒng)特性監(jiān)控。
簡化的模塊設(shè)計(jì):電子器件和傳感器合并在一個(gè)緊湊地、便于安裝的模塊中。不需要特殊工具就可以快速簡便地更換規(guī)管。
兩種輸出形式:模塊可提供不帶設(shè)定點(diǎn)的模擬量輸出型或帶兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)的DeviceNet通訊型。
彈性的DeviceNet網(wǎng)絡(luò)電源:規(guī)管電源通過DeviceNet微型接口提供或通過單獨(dú)的接口提供均可。
工藝設(shè)定點(diǎn):帶有工藝設(shè)定點(diǎn)的產(chǎn)品中,觸點(diǎn)繼電器可用來控制其他真空器件或?qū)崿F(xiàn)安全互鎖。設(shè)定點(diǎn)會(huì)存于非易失性存儲(chǔ)器中。
DeviceNet型的本地顯示:DeviceNet型產(chǎn)品可以選擇簡單易讀的LED顯示器,用來指示測量點(diǎn)的壓力。顯示方向可以根據(jù)安裝位置靈活翻轉(zhuǎn)。
CE認(rèn)證:DeviceNet型產(chǎn)品是經(jīng)過CE認(rèn)證的。
穩(wěn)固的不銹鋼外殼:防止安裝過程中損壞柵極和燈絲,消除玻璃破碎的風(fēng)險(xiǎn)。
拉緊的燈絲:保持精確定位從而保持校準(zhǔn)特性。
靜電屏蔽:完整環(huán)繞電極結(jié)構(gòu)——提供了穩(wěn)定、增強(qiáng)精度的電氣環(huán)境。
精密繞制、消除應(yīng)力的陽極:即使在高溫除氣之后仍保持其初始形狀,因此減少了測量誤差。
真空燒制組件:規(guī)管的設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)及制造工藝都盡可能選取放氣zui小化方案。規(guī)管的制造過程中從不與裸手接觸。
量程選擇及雙燈絲:可提供擴(kuò)展量程規(guī)管或超高真空規(guī)管,有耐燒斷的鍍氧化釔的銥燈絲和耐腐蝕的鎢燈絲選擇。利用第二根燈絲做備份直到正常的維護(hù)周期再更換規(guī)管可以避免意外停機(jī)。
GP 347型真空計(jì)技術(shù)規(guī)格
測量范圍(對于空氣或N2)(見注釋1、2) | |
超高真空規(guī)管 | |
Torr | 2x10-11到2x10-2 |
Mbar | 3x10-11到3x10-2 |
Pa | 3x10-9到3 |
擴(kuò)展量程規(guī)管 | |
Torr | 2x10-10到2x10-2 |
Mbar | 3x10-10到3x10-2 |
Pa | 3x10-8到3 |
測量N2精度(見注釋4) | +/-25%讀數(shù)從1x10-8到1x10-4Torr |
重復(fù)性(見注釋5) | +/-3%讀數(shù)從1x10-8到1x10-4Torr |
發(fā)射電流 | 0.1mA和4mA |
X射線極限(見注釋3) | |
超高真空規(guī)管 | 2x10-11Torr;3x10-11mbar;3x10-9Pa |
延伸范圍規(guī)管 | 2x10-10Torr;3x10-10mbar;3x10-8Pa |
除氣 | 電子轟擊,20W 2分鐘累時(shí)器控制 |
燈絲材質(zhì) | 銥絲鍍氧化釔或鎢絲 |
工作溫度 | 0-400C(32-1040F)不結(jié)露 |
非工作溫度 | -400C到700C |
規(guī)管烘烤溫度 | zui高4500C,移除電子器件 |
供電要求 | 24VDC+/-15%,zui大75W;3.75A 20VDC |
外殼材料 | 鑄鋁 |
CE認(rèn)證(僅DeviceNet型) | |
EMC電磁兼容指令 | 89/336/EEC;EN50081-2,EN5008-2,EN61326 |
低壓指令 | 73/23/EEC;EN61010 |
毛重 | 800gm(1Ibs,12.5oz) |
顯示選項(xiàng)(見注釋6) | 3位數(shù)顯加指數(shù)顯示,綠色LED,Torr,mbar或Pa |
設(shè)定點(diǎn)觸點(diǎn)(見注釋7) | 單刀雙擲(SPDT) |
觸點(diǎn)負(fù)載 | 1A30VDC阻抗,無感 |
DeviceNet型 | 兩個(gè)繼電器 |
其他接觸氣體材料 | 適用于真空條件,超高真空兼容 |
內(nèi)部容積 | 73cm3(4.45inch3)至篩網(wǎng)口的容積 |
GP 347型真空計(jì)注釋:
測量結(jié)果會(huì)隨不同氣體的混合情況而改變。操作說明書里提供了常用氣體的修正參數(shù)。
Stabil-lon模塊不能用于易燃易爆氣體測量。
X射線極限是規(guī)管的zui小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進(jìn)行重復(fù)測量。
精度(規(guī)管讀數(shù)和校驗(yàn)參考標(biāo)準(zhǔn)之間的差異)是通過數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)確定的并且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。
重復(fù)性是指同一模塊在不同時(shí)間讀取相同壓力值的能力。
顯示功能僅DeviceNet型模塊可選。
DeviceNet型模塊帶兩個(gè)繼電器設(shè)定點(diǎn),模擬量輸出型模塊無設(shè)定點(diǎn)繼電器。
模擬量型
DeviceNet型