Granville-Phillips系列356 Micro-lon Plus模塊(GP 356型真空計)
真空測量解決方案
Granville-Phillips的 Micro-lon Plus真空規(guī)模塊合并了新的微型Conductron熱損失傳感器和經(jīng)驗證的Micro-lon規(guī)管技術(shù)于一個真空封套中,從而擴展了從高真空到大氣壓的壓力測量。
兩個傳感器合并在一個真空封套中節(jié)省了空間。真空系統(tǒng)控制通過使用熱損失傳感器來自動激活和關(guān)閉電離規(guī)而得到簡化。方便
的按鈕控制可以進行模塊操作機兩個觸點繼電器的設(shè)定,無需通過電氣控制或計算機接口來實現(xiàn)。兩種型式的模塊可供選擇——帶模擬量輸出的RS-485接口或DeviceNet接口。
GP 356型真空計復(fù)合規(guī)管技術(shù)
要在一個跨度較寬的高真空系統(tǒng)中實現(xiàn)全壓力范圍的測量需要多個傳感器技術(shù)。以往這需要多個規(guī)管,多個真空連接口,以及多套電纜和電氣控制組件來實現(xiàn)。因此復(fù)合多傳感器技術(shù)于一個微型規(guī)管中有很大益處,只要傳感器之間互不干擾以及測量特性互不損壞。這些都由Micro-lon Plus設(shè)計實現(xiàn)了。它保留了Granville-Phillips的 Micro-lon規(guī)管設(shè)計的高性能同時配合新的微型熱損失傳感器在電離規(guī)中。新獲的Conductron熱損失傳感器是基于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的Convectron規(guī)管20多年的市場經(jīng)驗的理解和領(lǐng)悟而獲得的。寬量程、高性能和緊湊尺寸使得Micro-lon Plus模塊成為高真空系統(tǒng)壓力測量的明智選擇。
GP 356型真空計剖面圖
(GP 356型真空計)Micro-lon Plus規(guī)管特性及優(yōu)勢
寬量程:可以實現(xiàn)從1x10-9Torr(1x10-9mbar,1x10-7Pa)到大氣壓的連續(xù)真空系統(tǒng)特性監(jiān)控。熱量更少些。
簡化的模塊設(shè)計:電子器件和傳感器打包在一起組成一個緊湊、簡便的安裝模塊,避免了多個規(guī)管、電纜和電子器件的需要。
控制系統(tǒng)簡化:內(nèi)部集成的熱損失傳感器可以自動控制激活和關(guān)斷電離規(guī),避免了額外的電離規(guī)控制需要。
RS-485、模擬量輸出及遠程I/O:除了RS-485通訊和模擬量輸出意外,模塊還提供規(guī)管開/關(guān)、除氣、大氣校準(zhǔn),及鎖鍵盤的輸入控制連同規(guī)管、燈絲和除氣的狀態(tài)輸出。
工藝設(shè)定點:繼電器觸點可以用來控制其他真空設(shè)備和提供安全互鎖。設(shè)定值可以通過本地顯示界面、RS-485或DeviceNet接口進行調(diào)整。
本地顯示(選項):可以指示當(dāng)前點壓力值并能本地進行工藝設(shè)定點調(diào)整的綠色LED顯示和按鈕改善了建立時間和診斷能力。
DeviceNet接口型:提供壓力測量的高速讀取并實現(xiàn)規(guī)管參數(shù)的簡單配置。
DeviceNet網(wǎng)絡(luò)供電彈性化:規(guī)管供電既可以通過DeviceNet的微型接口實現(xiàn)也可以通過單獨的連接實現(xiàn)。
CE認(rèn)證:全金屬封裝具有高水準(zhǔn)的抗射頻干擾能力。
世界上zui小的復(fù)合規(guī):Micro-lon Plus復(fù)合了新的微型Conductron熱損失傳感器和一個Micro-lon傳感器在一個真空規(guī)管中,其體積不足傳統(tǒng)電離規(guī)10%。
高性能:完整的Micro-lon設(shè)計保留有獲的雙離子收集極從而增加了電子路徑和離子收集效率,在小容積內(nèi)提供高性能。
雙電離規(guī)燈絲:兩根耐燒斷的鍍氧化釔的銥絲實現(xiàn)了更長的規(guī)管壽命。利用第二根燈絲做備份可使規(guī)管工作到正常的維護周期再更換,避免了意外停機。
工作溫度更低:Micro-lon規(guī)管只有傳統(tǒng)玻璃規(guī)或裸規(guī)功耗的8%,這就使得它產(chǎn)生的干擾工藝或試驗的熱量更少些。
GP356真空計自動調(diào)節(jié)開關(guān)點和模擬輸出
穩(wěn)固的全金屬設(shè)計:焊接元件、真空燒結(jié)及裝配均在潔凈環(huán)境下完成,zui后將各元件封裝在不銹鋼外殼中以確保傳感器的集成。
接口篩網(wǎng):保護裝配及真空系統(tǒng)維護中電極組件不受損壞,提供穩(wěn)定的電氣環(huán)境改善測量性能。
真空接口的多種選擇:簡化了規(guī)管在真空系統(tǒng)中的安裝。
更換規(guī)管:僅僅使用螺絲刀就可以快速便捷地更換規(guī)管。
(GP 356型真空計)Micro-lon Plus規(guī)管技術(shù)參數(shù)
空氣或N2的壓力測量范圍(注釋1、2、3) | |
Torr | 1x10-9到大氣壓 |
Mbar | 1x10-9到大氣壓 |
Pa | 1x10-7到大氣壓 |
對氮氣的精度 | 從1x10-8Torr到50Torr小于讀數(shù)的15%(見注釋4) |
重復(fù)性 | 從1x10-8Torr到50Torr小于讀數(shù)的15%(見注釋5) |
電離規(guī)發(fā)射電流 | 自動切換 |
電離規(guī)自動控制設(shè)定(默認(rèn))(見注釋6) | |
電離規(guī)自動啟動 | 2x10-2Torr;3x10-2mbar,3Pa(壓力逐漸減小) |
切換至高發(fā)射(4.0mA) | 5x10-6Torr;7x10-6mbar,7x10-4Pa(壓力逐漸減?。?/span> |
切換至低發(fā)射(0.1mA) | 1x10-5Torr;1x10-5mbar,1x10-3Pa(壓力逐漸增加) |
電離規(guī)停止 | 3x10-2Torr;4x10-2mbar,4Pa(壓力逐漸增加) |
電離規(guī)除氣 | 電子轟擊;3.75W帶2分鐘累時器 |
電離規(guī)燈絲選擇 | 交替(默認(rèn))(見注釋7) |
重量 | 567g(20oz)(帶NW16KF法蘭) |
供電 | 24VDC+/-15%,zui大26W |
工作溫度 | 環(huán)境溫度0-400C,不結(jié)露 |
非工作溫度 | -40-+700C(-40-+1580F) |
外殼材料 | 鑄鋁 |
CE認(rèn)證 | |
EMC電磁兼容指令 | 89/336/EEC;EN50081-2,EN50082-2 |
低壓指令 | 73/23/EEC;EN61010-1 |
顯示選項 | 兩位數(shù)顯加指數(shù),綠色LED |
觸點繼電器 | 兩個單刀雙擲開關(guān)(SPDT) |
繼電器觸點額定值 | 1A 30VDC阻抗,無感 |
范圍 | 1x10-9到50Torr;1x10-9到70mbar,1x10-7到7Pa |
Micro-lon Plus規(guī)管 | |
X射線極限 | <3x10-10Torr;<4x10-10mbar; <4x10-8Pa |
電離規(guī)材料 | 銥絲鍍氧化釔 |
熱損失傳感絲材料 | 鎢絲鍍金 |
接觸真空的材質(zhì) | 304不銹鋼,鉭,鎢,鎳,鐵鎳合金,硅酸硼玻璃 |
內(nèi)部容積 | 10.8cm3,(0.67inch3)至管口 |
規(guī)管烘烤溫度 | 1500C(電子器件移除) |
GP 356型真空計注釋:
測量結(jié)果會隨不同氣體和混合情況而改變。
Micro-lon Plus模塊不能用于易燃易爆氣體測量。
大氣壓的數(shù)值是基于標(biāo)定時環(huán)境壓力而定的。
精度(規(guī)管讀數(shù)和校驗參考標(biāo)準(zhǔn)之間的差異)是通過數(shù)據(jù)統(tǒng)計確定的并且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。
重復(fù)性是指同一模塊在不同時間讀取相同壓力值的能力。
高發(fā)射和低發(fā)射 模式的默認(rèn)切換點可以通過數(shù)字接口進行調(diào)整。
模塊將隨著電離規(guī)的每次開啟交替點亮兩根燈絲,除非您通過數(shù)字接口將模式選成自動(AUTO)。在自動模式下,燈絲1會用到失效。任何一個燈絲失效,模塊都會自動切換到好的那根燈絲工作。
X射線極限是規(guī)管的zui小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進行重復(fù)測量。
GP 356真空計尺寸