AutoSE-一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀
全自動(dòng)化&高集成度&可視化光斑
操作簡(jiǎn)單,測(cè)試快速,為一般操作工人設(shè)計(jì)
一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具。
采用工業(yè)化設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析,并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。
主要特點(diǎn):
液晶調(diào)制技術(shù),無(wú)機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件,重復(fù)性,信噪比高
技術(shù)成像系技術(shù),所有樣品均可成像,對(duì)于透明樣品,自動(dòng)去除樣品的背反射信號(hào),使得數(shù)據(jù)分析更簡(jiǎn)單.
反射式微光斑,覆蓋全譜段,利于非均勻樣品圖案化樣品測(cè)試
全自動(dòng)集成度高,安裝維護(hù)簡(jiǎn)便
一鍵式操作軟件,快速簡(jiǎn)單
自動(dòng)MAPPING掃描,分析樣品鍍膜均勻性
技術(shù)參數(shù):
光譜范圍:450-1000 nm
多種微光斑自動(dòng)選擇
光斑可視技術(shù),可觀測(cè)任何樣品表面
自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
70度角入射
CCD探測(cè)器
高集成度全自動(dòng)式設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)便,安裝快速,自動(dòng)校驗(yàn)故障
液晶相調(diào)制
16個(gè)穆勒矩陣參數(shù)
1秒內(nèi)完成全譜測(cè)量
MyAuto View可視光斑技術(shù)
微光斑,四種可選
一鍵式操作,一鍵出報(bào)告