產(chǎn)品功能
● 可編程,最多 50 個(gè)程序
● 最多可同時(shí)噴涂 4 個(gè)晶基板
● 適用于重復(fù)工藝的快速啟動(dòng)功能
● 觸摸屏面板控制,方便用戶程序配置
● 工藝參數(shù):噴嘴行進(jìn)路徑,噴灑臂速度,噴灑時(shí)間,錐形束形狀電氣驅(qū)動(dòng)的噴灑臂,其在 X 或 Y 軸方向上的速度可選
● 可調(diào)整的噴嘴,具有恒定的噴灑壓力和自動(dòng)的清潔功能
● 用于計(jì)量壓縮空氣和檢查真空度的指示元件
● 手動(dòng)裝卸基板
性能參數(shù)
● 噴灑臂的速度和定位精度: 0.4 m/s,±0.1 mm
● 每個(gè)分段的噴灑時(shí)間:最長(zhǎng)為 9999 秒,調(diào)節(jié)步幅為 0.1 秒
● 噴灑循環(huán)的數(shù)目:最多 20 個(gè)曲回循環(huán)
● 環(huán)境溫度:+4 至 +60°C
● 圓形或方形基板
● 適用 300 mm 的晶圓或 12×12 英寸的基板