FR-Ultra: 晶圓厚度測量系統(tǒng)
FR-Ultra是一種緊湊型設備,專門用于快捷、準確和無損測量半導體材料的厚/超厚層及透明層。
FR-Ultra是用于精確測量由半導體和(或)介電材料制成的厚層和超厚層的專用工具。由于其優(yōu)良的光學性能,FR-Ultra可用于測量不同平滑度的薄膜和非常厚的襯底。
典型應用包括:
厚玻璃的厚度測量(在清晰度不同的情況下厚度可達2mm); 晶圓片的厚度測量(如單面或雙面拋光晶圓,直徑可達12 英寸)。
FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標系和極坐標結(jié)合,用于大面積的厚度測量。
硅片厚度圖(12英寸硅片)
測量原理
白光反射光譜(WLRS)測量在一定光譜范圍內(nèi)從單或多層薄膜堆疊結(jié)構(gòu)的 反射光,其中入射光垂直于樣品表面。藉由測量各個界面干涉產(chǎn)生的反射光 譜來計算單層/疊層薄膜的厚度、光學常數(shù)(n 和k)等。並支持透明或部分反射基材等。
*規(guī)格如有更改,恕不另行通知;
**100μm DSP硅片的測量值對應于測量厚度值在精度范圍內(nèi)的標準(0.4%);
***500μm DSP硅片的測量值對應于測量厚度值在精度范圍內(nèi)的標準(0.4%)