在線測(cè)量的解決方案
使用F32可以簡(jiǎn)單快速地在線測(cè)量膜厚。從對(duì)膜的頂部和底部反射光譜進(jìn)行分析可得到實(shí)時(shí)厚度信息。
F32的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3U rack-mount底盤,加上附加的分光計(jì),可達(dá)到四個(gè)不同的位置(EXR和UVX版本*多兩個(gè)位置)。F32軟件可以通過(guò)數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來(lái)控制啟動(dòng)/停止/復(fù)位測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)可以自動(dòng)導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制。Filmetrics還提供可選的透鏡組件,以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。
包含的軟件和USB連接使得在任何windows平臺(tái)上安裝F32很簡(jiǎn)單。在測(cè)量軟件的幫助下,它預(yù)裝了100多種材料,使得單層和多層薄膜的測(cè)量很容易實(shí)現(xiàn)。通過(guò)測(cè)量樣品的光學(xué)常數(shù)或從現(xiàn)有的來(lái)源輸入數(shù)據(jù),可以快速添加新材料。
選擇Filmetrics的優(yōu)勢(shì)
? 桌面式薄膜厚度測(cè)量的
? 24小時(shí)電話,和在線支持
? 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件
附 加 特 性
? 嵌入式在線診斷方式
? 免費(fèi)離線分析軟件
? 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效地存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果