多角度激光橢偏儀(PH-LE型)專門針對(duì)晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量,能夠測量薄膜厚度及其光學(xué)常數(shù),使用632.8nm波長氦氖激光器,具有的精確度和準(zhǔn)確度。
產(chǎn)品特點(diǎn):
■ 可以測量單晶電池片、多晶電池片
■ 可以測量拋光片,精確度和準(zhǔn)確度
■ 可以測量粗糙表面的“絨片”
■ 適用于對(duì)太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強(qiáng)進(jìn)行測量
■ 可對(duì)太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(shù)(偏振因數(shù))進(jìn)行測量和評(píng)估,提高測量精度
■ 配置有高穩(wěn)定度補(bǔ)償器,提供最小的漂移值和最小的測量誤差
■ 配置有高精度的自動(dòng)光學(xué)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
■ 可進(jìn)行20°-90°范圍內(nèi)的多角度測量
測量特點(diǎn):
■ 非破環(huán)性檢測
■ 樣品準(zhǔn)直簡單方便
■ 測量速度快
■ 可變?nèi)肷浣欠秶鷮?br> ■ 測量
■ 軟件分析功能強(qiáng)
技術(shù)指標(biāo):
■ 光源:He-Ne激光器
■ 光斑直徑:1-2mm
■ 入射角范圍:20°到90°,5°/步
■ 精度:0.002°~ 0.02°
■ 膜厚精度:0.01mm,對(duì)100nmSiO2on Si
■ 折射率精度:0.0005,對(duì)100nmSiO2on Si
■ 激光光斑:直徑1mm
■ 激光波長632.8 nm
典型客戶:
美國,歐洲,亞洲及國內(nèi)太陽能及半導(dǎo)體客戶。