FC-CSP基板凸點(diǎn)檢查裝置RVI-S8010概要: |
RVI-S8010是一款采用了新型傳感器的可以高速/高精度進(jìn)行FC-SSP基板(STRIP)凸點(diǎn)檢查的全自動凸點(diǎn)檢查
裝置。不僅可以檢查凸點(diǎn)的高度,還由于提高了2D清晰度實(shí)現(xiàn)了凸點(diǎn)TOP直徑的計(jì)測精度的提高。
另外,依據(jù)獨(dú)立的工件攻擊方式可實(shí)現(xiàn)30s/Sheet.
(Sheet尺寸240mm*77mm、48UNIT,計(jì)測區(qū)域10mm*12mm)
既可以計(jì)測圓形凸點(diǎn),也可以計(jì)測扁平狀的凸點(diǎn)