VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀，其靶頭尺寸為2英寸，并且樣品臺(tái)的高度可以調(diào)節(jié)。此款鍍膜儀設(shè)計(jì)主要是制作一些金屬薄膜。
| 性能指標(biāo)和基本配置 |
| 特點(diǎn) | ● 特別為SEM樣品鍍導(dǎo)電性薄膜設(shè)計(jì)
● 體積小巧，操作簡單，容易上手。
● 擁有小型磁控靶頭，可以鍍金銀鉑等金屬。 |
| 主要參數(shù) | ● 輸入電源：220V AC 50/60Hz
● 功率：200W
● 輸出電壓：500 VDC
● 濺射電流：0-50 mA可調(diào)
● 濺射時(shí)間：0-120S可調(diào) |
| 濺射腔體 | ● 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
● 密封：采用不銹鋼平法蘭的O形密封圈 |
| 濺射頭&樣品臺(tái) | ● 濺射頭可安裝靶材直徑為2英寸，厚度0.1 - 2.5mm
● 濺射時(shí)間1-120S可調(diào)
● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺(tái)，其與濺射頭之間距離可調(diào)。
● 可選購加熱型樣品臺(tái)，其加熱溫度為500℃
● 安裝有一可手動(dòng)操作的濺射擋板，可進(jìn)行預(yù)濺射。
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| 真空系統(tǒng) | ● 安裝有KF25真空接口
● 數(shù)字真空壓力表（Pa）
● 此系統(tǒng)可通入氣體運(yùn)行
● < 1.0E-2 Torr （采用機(jī)械泵）（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）
● < 1.0E-5 Torr（采用渦旋分子泵）（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）
● 可在本公司選購各種真空泵
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| 進(jìn)氣 | ● 設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口，方便連接氣瓶
● 設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕，方便調(diào)節(jié)氣流 |
| 靶材 | ● 靶材尺寸要求：Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)
● 此設(shè)備標(biāo)配為銅靶
● 可在本公司選購各種靶材 |
| 各種靶材的參數(shù)（僅供參考） | 對(duì)于濺射各種金屬靶材，需要摸索的濺射參數(shù)，下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)，歡迎您帶料來科晶實(shí)驗(yàn)室摸索工藝（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊） |
| 靶材種類 | 真空度（Pa） | 濺射電流（mA） | 時(shí)間（s） | 濺射次數(shù) | |
| Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | |
| Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | |
| 薄膜測厚儀（可選） | 可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上
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| 產(chǎn)品尺寸 | L460 mm × W 330 mm × H 540 mm
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| 凈重 | 20 kg（不包括泵） |
| 使用注意事項(xiàng) | ● 有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜
● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈
● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面
● 超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：（1）丙酮超聲，（2）異丙醇超聲-去除油脂，（3）吹氮?dú)飧稍?，?）真空烘箱除去水分。
● 等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物。
● 制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。
● 請(qǐng)使用>5N純度氬氣等離子體濺射
● 濺射鍍膜機(jī)可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射
● 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請(qǐng)考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī)或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié)
   
超聲波清洗機(jī) 等離子清洗機(jī) 大功率磁控濺射儀 蒸鍍儀 |
| 警告 | ● 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體。
● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。
● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶頭。 |
| 認(rèn)證 |  CE認(rèn)證 |
| 保修期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
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暫無內(nèi)容
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