GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜。
| 功能特點(diǎn) |
|---|
- 設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。
- 通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得鍍膜效果。
- 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
- 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
- 根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
- 已通過(guò)CE認(rèn)證。
| 技術(shù)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 不需要 | ||
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 | ||
| 氣 | 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） | ||
| 工作臺(tái) | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 | ||
| 通風(fēng)裝置 | 不需要 | ||
| 電源 | 220V | ||
| 總功率 | <2000W（包括真空泵） | ||
| 真空室 | ?160mm×120mm | ||
| 樣品臺(tái) | ?50mm，且高度可調(diào)，可同時(shí)進(jìn)行8個(gè)SEM樣品的鍍膜 | ||
| 均勻鍍膜 | ?45mm | ||
| 尺寸 | 400mm×300mm×400mm | ||
| 重量 | 30kg | ||
| 可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1個(gè) |
| 2 | 進(jìn)氣針閥 | 1個(gè) | |
| 3 | 保險(xiǎn)絲 | 2個(gè) | |
暫無(wú)內(nèi)容
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