某光學元件制造商為了優(yōu)化碳化硅微光學元件, 降低碳化硅微光學元件表面粗糙度, 采用 Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 對其進行優(yōu)化.
Hakuto 離子蝕刻機 10IBE技術參數(shù):
基板尺寸 | < Ф8 X 1wfr |
樣品臺 | 直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉 |
離子源 | 16cm |
均勻性 | ±5% for 4”Ф |
硅片刻蝕率 | 20 nm/min |
溫度 | <100 |
該制造商采用的 Hakuto 離子刻蝕機 10IBE 的核心構件離子源是配伯東公司代理美國 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160
伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術參數(shù):
離子源型號 | 離子源 KDC 160 |
Discharge | DC 熱離子 |
離子束流 | >650 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 16 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 2-30 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 25.2 cm |
直徑 | 23.2 cm |
中和器 | 燈絲 |
* 可選: 可調角度的支架
Hakuto 離子刻蝕機 10IBE 配的是 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持刻蝕室的真空度.
其產品優(yōu)勢:
1.結構緊湊但功能強大的渦輪泵,用于 N2 時的高抽速可達 685 l/s
2.佳真空性能,低功耗
3.集成的帶 Profibus 的驅動電子裝置 TC 400
4.可在任何方向安裝
5.帶有集成型水冷系統(tǒng)以保證大氣體流量
6.通過 M12 插接頭的 Profibus 連接
7.廣泛的配件擴展使用范圍
運行結果:
1. 經過 Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 對碳化硅微納結構進行刻蝕, 以調控結構的線寬和深度, 使結構表面粗糙度由約106nm降低到11.8nm.
2. 碳化硅菲涅爾波帶片展現(xiàn)出良好的聚焦和成像效果.
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