1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；

2. 上開啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣；

3. 產(chǎn)品采用全自動控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示；

4. 可通過爐體滑動來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果；

5. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量；

產(chǎn)品型號

NBD-PECVD1200-50IIT

電氣規(guī)格

AC220V 3KW 射頻功率：300或500瓦 13.56Mhz

可達(dá)溫度

1200 ℃ （<1小時）

連續(xù)溫度

1100 ℃ （連續(xù)）

可達(dá)加熱速率

≤ 20 ℃/分鐘

加熱區(qū)長度

200mm+200mm（兩個加熱溫區(qū)分別加熱，分體式設(shè)計使溫度梯度可以達(dá)到極限）

爐管尺寸

Φ50*1800mm

射頻線圈

采用多節(jié)點(diǎn)鍍銀的水冷銅線圈，可匹配不同頻率的射頻電源

控制系統(tǒng)

1.可預(yù)存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩；

2.實驗過程更加直觀，操作更加便捷；

3.可另選配無線控制模塊，實現(xiàn)遠(yuǎn)程操控；

4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護(hù)等。

溫度精度

+/- 1 ℃

加熱元件

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

密封系統(tǒng)

真空度：≤10Pa（機(jī)械泵），達(dá)到啟輝條件。

壓力測量與監(jiān)控

采用數(shù)顯真空計可直觀顯示設(shè)備的真空度，實驗數(shù)據(jù)及效果更加準(zhǔn)確。

供氣系統(tǒng)

采用質(zhì)量流量計控制，與設(shè)備一體化，方便控制，出廠前已進(jìn)行漏氣測試工作

凈重

100KG

設(shè)備使用注意事項

1. 設(shè)備爐膛溫度≥300℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；

2. 設(shè)備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa（壓力），以防止壓力過大沖開密封法蘭；

3. 高真空下使用時（10的負(fù)3次方Pa），設(shè)備使用溫度不得超過800℃。

服務(wù)支持

1年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和O形圈等）