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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

河南諾巴迪材料科技有限公司是集研究?開(kāi)發(fā)?制造?經(jīng)營(yíng)為一體的*創(chuàng)新型企業(yè)，產(chǎn)品已經(jīng)遍布亞歐美，覆蓋國(guó)內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室，諾巴迪品牌已經(jīng)成為受客戶(hù)歡迎和信任的品牌之一。

公司以科技創(chuàng)新為主，服務(wù)客戶(hù)為宗旨，積極研究開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品，奉獻(xiàn)于教育和科研，經(jīng)過(guò)*的研發(fā)和不斷的技術(shù)積累，擁有熱工、制造、控制相關(guān)技術(shù)30余項(xiàng)，為化學(xué)、物理、材料、電子、高分子工程、新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過(guò)引進(jìn)“千人”強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，形成了有效的信息、技術(shù)交流平臺(tái)，為諾巴迪化發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持！

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)29個(gè)系列178款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括管式爐、真空爐、升降爐、快速退火爐（RTP)、箱式爐、澆注爐、旋轉(zhuǎn)爐等，主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，遠(yuǎn)銷(xiāo)歐美及東亞地區(qū)，多款設(shè)備取得了歐盟CE認(rèn)證。

公司與“新世紀(jì)材料基因組工程研究院”有多層次的戰(zhàn)略合作關(guān)系，建有開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室，新能源新材料領(lǐng)域的千人教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力、科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝、精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，我們諾巴迪人時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

PECVD系統(tǒng)（集成氣化裝置）

PECVD系統(tǒng)（集成氣化裝置）產(chǎn)品詳情

設(shè)備簡(jiǎn)介：

該P(yáng)ECVD系統(tǒng)配置高精度全封閉式液體氣化裝置，為表面薄膜沉積實(shí)驗(yàn)提供包含有毒液體在內(nèi)的氣化條件。系統(tǒng)由高穩(wěn)定性射頻電源（200W，13.56MHz）、氣體流量控制系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，采用NBD-101EP集中總線(xiàn)控制技術(shù)的諾巴迪操作軟件。利用等離子體特性來(lái)控制或影響氣相反應(yīng)和材料表面的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程，并在適當(dāng)?shù)臏囟认鲁练e薄膜。PECVD淀積的薄膜具有優(yōu)良的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及的臺(tái)階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點(diǎn)使其在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。

配置詳情

	主要特點(diǎn)： 1. 集成液體氣化系統(tǒng)，可穩(wěn)定提供包括有毒液體在內(nèi)的反應(yīng)氣體條件； 2. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 3. 上開(kāi)啟式結(jié)構(gòu)，方便觀(guān)察試樣； 4. 產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 5. 設(shè)備一體化程度高； 6. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量； 7. 出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！
設(shè)備型號(hào)	NBD-PE1200-80TID2FY
供電電源	AC220V 50/60HZ
控溫精度	±1℃
觸摸屏尺寸	7英寸
射頻頻率	13.56MHz
射頻功率輸出范圍	0-200W
沉積加熱額定功率	4.0KW
蒸發(fā)器額定功率	1.3KW
伴熱帶額定功率	75W
傳感器類(lèi)型	K型熱電偶
沉積溫度	1200℃
沉積額定溫度	1150℃
蒸發(fā)器額定溫度	400℃
伴熱帶額定溫度	150℃
推薦升溫速率	≤10/min
沉積管徑	Φ80mm*1200mm
蒸發(fā)源管徑	Φ50mm*80mm
蒸發(fā)源有效容積	50ml
PECVD 外形尺寸	長(zhǎng)1500×高1280×深760mm
蒸發(fā)器外形尺寸	長(zhǎng)410×高350×深210mm
氣氛條件	混合氣、真空等
機(jī)械泵抽氣速率	16 立方米每小時(shí)
爐腔極限真空度	3~5Pa
法蘭結(jié)構(gòu)	航空鋁快開(kāi)模式；
操作系統(tǒng)	NBD-101EP集中總線(xiàn)控制集成系統(tǒng)，7"全觸摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人機(jī)對(duì)話(huà)模式；
真空測(cè)試	數(shù)字真空計(jì)獲取裝置；
設(shè)備細(xì)節(jié)
部分界面
凈重	約300KG
設(shè)備使用注意事項(xiàng)	1.射頻匹配器一般處于自動(dòng)匹配狀態(tài)，一般功率需達(dá)到50W以上才能匹配； 2.若采用手動(dòng)匹配，將功率設(shè)到60W左右，手動(dòng)調(diào)諧匹配合適時(shí)，再增加功率
服務(wù)支持	一年有限保修，提供終身支持；

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