智能模塊化設計
CCU-010是一種緊湊型全自動高真空離子濺射儀,同時可以通過更換靶頭作為高真空碳鍍膜機進行使用,使用非常簡單。由于的插件概念,該設備很容易配置濺射或蒸發(fā),只需更換工藝頭。涂層前后可進行等離子處理。模塊化設計使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。CCU-010有一個靜態(tài)樣品臺,包括高度調節(jié)和傾斜。它可以安裝一個可選的變速旋轉階段或旋轉行星階段,每個選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監(jiān)測都作為標準。
多樣性的真空互聯(lián)
CCU-010HV高真空離子濺射儀覆蓋了所有性能的掃描電子顯微鏡、透射電鏡和薄膜應用。模塊化設計讓常規(guī)真空系統(tǒng)轉換到高真空系統(tǒng)非常方便。
簡單操作、維護方便
打開包裝,連接并啟動!即插即用的概念允許您自己啟動設備。你只需要接通電源和處理氣體。通過集成的USB服務接口,服務技術人員可以通過互聯(lián)網(wǎng)連接在現(xiàn)場或遠程運行快速錯誤分析。模塊化設置允許直接更換有缺陷的部件。
操作簡單、維護方便
打開包裝,連接并啟動!即插即用的概念允許您自己啟動設備。你只需要接通電源和處理氣體。通過集成的USB服務接口,服務技術人員可以通過互聯(lián)網(wǎng)連接在現(xiàn)場或遠程運行快速錯誤分析。模塊化設置允許直接更換有缺陷的部件。
?自動閥門控制兩種氣體的排放過程。
?可選擇速度控制旋轉或行星齒輪臺,用于固定不同類型的試樣和樣品臺。
?視覺化設計的用戶軟件界面,具有多種一鍵功能操作。
?基于Windows軟件的涂層軟件LAB,可以進行數(shù)字化的涂層結構編輯。
?如果系統(tǒng)關閉或斷電(如果使用無油泵操作),您可以保持系統(tǒng)處于真空狀態(tài)。
?在斷電情況下自動排放系統(tǒng)的功能,防止系統(tǒng)受到備用泵油的污染(如果使用油封泵操作?簡單的插入式電氣和氣動接口,用于將涂層頭連接至基本單元,允許在幾秒鐘內在模塊之間進行交換。
?程序會自動識別并將調出所需要的菜單。
技術指標
外形尺寸: | 580×360×350mm | 真空測量: | 皮拉尼計和冷陰極壓力計 |
儀器重量: | 32kg | 控制模式: | 自動觸摸屏Windows軟件系統(tǒng) |
電源要求 | 100-240VAC | 靶材尺寸: | φ54mm |
倉室尺寸: | φ120 | 濺射電流: | 10-100mA |
真空泵: | 集成式渦輪分子泵 | 濺射時間: | ≤900s |
極限真空: | 2×10^(-6)mbar/2×10^(-4)Pa | 供氣選項: | 氬氣、氮氣、空氣等可選 |