捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)改進(jìn),實(shí)現(xiàn)了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的進(jìn)一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒(méi)式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。
此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過(guò)r-filter分選信號(hào)等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。
捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)如下:
1.半浸沒(méi)式物鏡在樣品周?chē)纬蓮?qiáng)磁場(chǎng),因而可以獲得超高分辨率。
2.High Power Optics 是的電子光學(xué)系統(tǒng),既實(shí)現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)梢垣@得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)‵EG)的探針電流,光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時(shí)也能保持小束斑,兩者組合起來(lái)能提供200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng),從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。
二次電子像分辨率 | 0.8 nm(加速電壓 15 kV),1.0 nm(加速電壓 1 kV ) 分析時(shí) 3.0 nm (加速電壓 15 kV, WD 8 mm, 探針電流 5 nA ) |
倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000(120 x 90 mm) Display magnification: x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels) |
加速電壓 | 0.1 ~ 30 kV |
探針電流 | 數(shù) pA ~ 200 nA |
電子槍 | 浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
透鏡系統(tǒng) | 聚光鏡(CL)、 光闌角控制鏡(ACL)、 半浸沒(méi)式物鏡(OL) |
樣品臺(tái) | 全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
電子檢測(cè)器系列 | 高位檢測(cè)器、 r‐過(guò)濾器 內(nèi)置、 低位檢測(cè)器 |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消象散、自動(dòng)亮度/襯度調(diào)節(jié) |
圖像觀察用 液晶顯示器 | 屏幕尺寸 23英寸寬屏 分辨率 1,920 × 1,080像素 |
抽真空系統(tǒng) | 電子槍室/中間室 SIP 離子泵 樣品室 TMP 分子泵 |
關(guān)鍵詞: