Plasma清洗儀是利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是對氣體施加足夠能量使其離化形成,plasma清洗儀是通過等離子體中離子、處于高速運動狀態(tài)的電子、光子、活性基團等“活性”成分來處理表面以實現(xiàn)清潔、改性等目的,具體工作原理是在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下啟輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面,以達到清洗目的。
Plasma清洗儀具體使用步驟為,打開電源,將樣品放入真空腔中,蓋上蓋子,打開真空泵,至少等待一段時間以確保將真空腔抽為真空,并且蓋子無法抬起,設(shè)定清洗功率,選擇清洗時間,儀器開始工作;清洗結(jié)束后,關(guān)閉真空泵,向真空腔中通大氣,取出樣品,關(guān)閉儀器,電源。