NE-PE05F等離子表面處理儀，該儀器采用電容式耦合輝光放電產(chǎn)生的等離子體對(duì)材料表面進(jìn)行改性,可供等離子體表面改性和等離子體聚合之用,它由真空反應(yīng)室、真空系統(tǒng)及真空測(cè)量設(shè)備、充氣系統(tǒng)及氣體流量測(cè)量設(shè)備、放電系統(tǒng)和射頻電源和設(shè)備電路控制系統(tǒng)五部分組成。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號(hào) | NE-PE05F等離子表面處理儀 |
| 功率 | 0-200W可調(diào) |
| 頻率 | 射頻13.56MHz |
| 腔體材質(zhì) | 進(jìn)口 316 不銹鋼 |
| 腔體容積 | 5L |
| 腔體尺寸 | Φ150×280（D）mm（圓形） |
| 有效處理范圍 | 130（W）*245(D)mm |
| 氣路數(shù)量 | 2路工藝氣體通道 |
| 真空度 | ＜30Pa |
| 外形尺寸 | 560mm(L)×550mm(W) ×530 mm(H) |
產(chǎn)品特點(diǎn)：
氣體系統(tǒng)動(dòng)態(tài)循設(shè)計(jì)、均勻進(jìn)氣提高處理的效果
13.56MHz射頻等離子發(fā)生器，離子能量和濃度適中
兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對(duì)處理效果的影響
密封件采用真空密封緊固件，確保真空腔體氣密性高
控制系統(tǒng)包括自動(dòng)流程控制、安全連鎖保護(hù)等功能
低溫等離子體表面處理技術(shù)在材料加工中使用越來(lái)越廣泛。它具有傳統(tǒng)的化學(xué)加工所不具備的優(yōu)點(diǎn)，無(wú)需使用水和化學(xué)品，污染少，廢水處理成本低，是一種環(huán)境友好的加工方式。低溫等離子體是部分離子化的氣體，其電子溫度比離子溫度高，放電時(shí)所產(chǎn)生的高能量電子和低能量分子活性種能引發(fā)反應(yīng)而且不會(huì)使材料由于溫度過(guò)高而破壞。通過(guò)等離子體處理可以引入大量的活性官能團(tuán)使材料的性能發(fā)生變化，如：提高潤(rùn)濕性、染色性、具備拒水或拒油性、改變物理或電性能、清潔材料表面等等。尤為重要的是低溫等離子體可以對(duì)材料進(jìn)行大批量的加工。
