SH200 勻烤膠一體機(jī)

參考價(jià): 面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

型號(hào)SH200
品牌
所在地上海市
更新時(shí)間2023-05-03

上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
入駐年限第8年
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量437
人氣值667

產(chǎn)品標(biāo)簽

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勻烤膠一體機(jī)適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體配置自動(dòng)供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式觸摸式人機(jī)交互界面,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標(biāo)可選配置空氣凈化單元（FFU）

勻烤膠一體機(jī) 產(chǎn)品詳情

勻烤膠一體機(jī)

產(chǎn)品介紹

適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動(dòng)供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機(jī)交互界面,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標(biāo)
可選配置空氣凈化單元(FFU)

產(chǎn)品參數(shù)

旋轉(zhuǎn)速度范圍: 20-5000rpm(可選10000rpm)
加速度范圍: 20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
(光刻膠嘴數(shù)量:≤4路
勻膠工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數(shù):控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng) 空氣凈化

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