SH200-AT 軌道式勻膠顯影機(jī)

參考價(jià): 面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

型號(hào)SH200-AT
品牌
所在地上海市
更新時(shí)間2023-05-03

上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
入駐年限第8年
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量437
人氣值667

產(chǎn)品標(biāo)簽

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軌道式勻膠顯影機(jī)適用于8英寸及以下晶圓的勻膠顯影工藝設(shè)備配置:2套勻膠（顯影）單元、4套熱（冷）板單元可選8寸以下多種wafer尺寸全自動(dòng)勻膠/顯影,烘烤工藝處理整機(jī)性價(jià)比高,適合產(chǎn)能要求適中的批量產(chǎn)線根據(jù)客戶工藝需求可加裝等離子風(fēng)棒等模塊可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

軌道式勻膠顯影機(jī) 產(chǎn)品詳情

顯影機(jī)

顯影是指用還原劑把軟片或印版上經(jīng)過曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現(xiàn)出來的同時(shí)，獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機(jī)是將曬制好的印版通過半自動(dòng)和全自動(dòng)的程序?qū)@影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設(shè)備。

產(chǎn)品介紹

適用于8英寸及以下晶圓的勻膠顯影工藝
設(shè)備配置:2套勻膠(顯影)單元、4套熱(冷)板單元
可選8寸以下多種wafer尺寸全自動(dòng)勻膠/顯影,烘烤工藝處理
整機(jī)性價(jià)比高,適合產(chǎn)能要求適中的批量產(chǎn)線
根據(jù)客戶工藝需求可加裝等離子風(fēng)棒等模塊
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

產(chǎn)品參數(shù)

主軸旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-5000rpm
主軸加速度范圍:20-20000rpm/s
主軸轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
熱盤溫度范圍:50℃-200℃
熱盤溫度均勻性:±1%
適用光刻膠粘度:0-1000Cp(可選高粘度光膠機(jī)臺(tái))
光刻膠或顯影液管路:≤3路
設(shè)備尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)

關(guān)鍵詞：離子風(fēng)棒

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