尼康公司（東京港區(qū)總裁 Kazuo Ushida）發(fā)布了一代尼康 ArF 浸入式掃描儀 NSR-S631E。該光刻系統(tǒng)專為大批量半導(dǎo)體制造中的 7 納米節(jié)點(diǎn)工藝而開(kāi)發(fā)。它支持多重圖案* ，并具有經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的Streamlign平臺(tái)（也用于的 NSR-S630D）的高精度和出色的生產(chǎn)力。NSR-S631E 可滿足下一代客戶的制造要求，進(jìn)一步提高覆蓋和產(chǎn)量，這在多重圖案化工藝中至關(guān)重要。
NSR-S631E通過(guò)使用新型投影鏡頭以及改進(jìn)的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)標(biāo)記檢測(cè)和測(cè)量，提供 2.3 nm 或以下的混合匹配覆蓋 (MMO * )。S631E 還可以通過(guò)每小時(shí)高達(dá) 270（96 次）晶圓的生產(chǎn)能力限度地提高晶圓廠的生產(chǎn)力。
主要特征
1.配備Streamlign平臺(tái)
- 鳥(niǎo)瞰控制：顯著提高疊加精度的測(cè)量系統(tǒng)
結(jié)合用于晶圓載物臺(tái)位置測(cè)量的編碼器和干涉儀的混合系統(tǒng)，分劃板載物臺(tái)位置使用 2D 編碼器進(jìn)行測(cè)量。這使得每個(gè)平臺(tái)的位置測(cè)量不受空氣波動(dòng)的影響，從而提高了疊加精度。
- 流對(duì)齊：可顯著提高吞吐量的測(cè)量技術(shù)
通過(guò)將現(xiàn)場(chǎng)圖像對(duì)準(zhǔn) (FIA) 顯微鏡的數(shù)量增加到五個(gè)（五眼 FIA）*，可以在更短的時(shí)間內(nèi)執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)測(cè)量。五眼 FIA 可將吞吐量損失降至，即使必須測(cè)量多個(gè)點(diǎn)（幾乎等于全部鏡頭數(shù)量）也是如此。
- Modular 2 (Modular Squared) Structure：模塊化結(jié)構(gòu)，提高可維護(hù)性
分層模塊化結(jié)構(gòu)意味著在客戶現(xiàn)場(chǎng)啟動(dòng)設(shè)備所需的時(shí)間更少，并簡(jiǎn)化了系統(tǒng)維修。這大大提高了可維護(hù)性。
- *五眼 FIA：改進(jìn)型的 FIA，有 5 個(gè)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡，而不是傳統(tǒng)的 1 個(gè)。
2. 提高產(chǎn)品性能
S631E 采用新開(kāi)發(fā)的投影鏡頭設(shè)計(jì)，提供更好的像差校正功能，以確保的成像性能。此外，創(chuàng)新的測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)提高了產(chǎn)品的對(duì)準(zhǔn)和聚焦精度。
