NSR-S621D 已開(kāi)發(fā)用于大批量制造 22 nm 工藝節(jié)點(diǎn)(能夠通過(guò)進(jìn)一步提高久經(jīng)考驗(yàn)的 NSR-S620D 的精度和生產(chǎn)率來(lái)處理雙圖案*1 )。尼康計(jì)劃將 NSR-S621D 定位為其旗艦工具并擴(kuò)大銷(xiāo)售。
Nikon ArF浸沒(méi)式光刻機(jī)NSR-S621D經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的Streamlign平臺(tái),實(shí)現(xiàn)了2nm的疊印精度和200wph的吞吐量,并在硬件和軟件方面進(jìn)一步改進(jìn),為客戶的生產(chǎn)線提供和高效的解決方案。