Suss MicroTec ACS200 是一種自動光刻膠涂層和烘烤站,具有盒到盒基底操作。它支持在各種基材上旋涂和噴涂光刻膠。該工具提供完整的抗蝕劑涂層功能,包括高達 250 °C 的熱板烘烤和背面沖洗自動去除邊緣珠。
規(guī)格/能力
Gyrset 旋涂和 Alta 噴涂模塊。
250 °C 可編程加熱板。
自動去除邊緣珠和背面沖洗。
使用信息
支持的樣本量
晶圓直徑:200 毫米(8 英寸)。
支持的小件:是的。
基材厚度:5 毫米。
支持的晶圓直徑:
50 毫米(2 英寸)。
75 毫米(3 英寸)。
100 毫米(4 英寸)。
150 毫米(6 英寸)。
200 毫米(8 英寸)。
支持的光掩模尺寸:
125 毫米 x 125 毫米。
150 毫米 x 150 毫米。
典型應用
用于光學圖案曝光的光刻膠涂層。
用于掩模生產(chǎn)的光刻膠涂層。