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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

公司主營(yíng)實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國(guó)安捷倫、美國(guó)熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開(kāi)發(fā)建立、后期運(yùn)營(yíng)管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營(yíng)產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測(cè)。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

日本東京電子公司生產(chǎn)的TEL牌涂膠顯影機(jī)CLEANTRACKACT8/12，是有著良好性能和可靠性的半導(dǎo)體微電子生產(chǎn)設(shè)備,是可對(duì)應(yīng)200/300mm硅片生產(chǎn)的涂膠顯影設(shè)備

TEL CLEAN TRACK ACT8（ACT12）涂膠顯影機(jī) 產(chǎn)品詳情

日本東京電子公司生產(chǎn)的TEL牌涂膠顯影機(jī)CLEANTRACK ACT8/12，是有著良好性能和可靠性的半導(dǎo)體微電子生產(chǎn)設(shè)備,是可對(duì)應(yīng)200/300mm硅片生產(chǎn)的涂膠顯影設(shè)備。

半導(dǎo)體制造設(shè)備涂膠顯影機(jī),應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的光刻工藝中，是感光劑(photoresist)的涂布(coat)和顯影(develop)的設(shè)備。在該設(shè)備的涂膠（coat）單元中，硅片上面的感光劑首先被涂布，后被送到曝光設(shè)備里，通過(guò)光刻機(jī)將MASK上面圖形投影到硅片上。

接下來(lái),硅片回到涂膠顯影機(jī)的顯影單元中，通過(guò)對(duì)硅片表面感光膠噴涂顯影液，使被感光部分的感光劑融化，這樣wafer上就出現(xiàn)了凹凸的圖形。經(jīng)過(guò)各種工序重復(fù),最終就形成了細(xì)微而復(fù)雜的集成電路。

設(shè)備各個(gè)單元功能說(shuō)明

涂膠顯影機(jī)各單元功能說(shuō)明

工藝技術(shù)指標(biāo)與要求：

涂膠膜厚均勻性：3sigma 小于 10nm

顯影條寬均勻性：（0.15μmCD 測(cè)試）3sigma 小于 10nm

腔體氨氣濃度：<1ppb（FAB 環(huán)境小于 100ppb 條件下）

CHP 熱板（如果有）：50～200℃(±0.3℃)

產(chǎn)能：60WPH

與曝光機(jī)聯(lián)機(jī)要求:需與曝光機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè)(inline)。

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
煙氣含濕量檢測(cè)器	￥8000	青島市	青島路博建業(yè)環(huán)?？萍加邢薰?/span>	2024-11-14	在線詢價(jià)
自動(dòng)測(cè)量圖像尺寸設(shè)備	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-08-11	在線詢價(jià)
羅卓尼克USB接口水活性快速測(cè)量探頭	面議	無(wú)錫市	無(wú)錫徽科特測(cè)控技術(shù)有限公司	2024-07-09	在線詢價(jià)
高通量實(shí)時(shí)熒光檢測(cè)分析系統(tǒng)	面議	上海市	美谷分子儀器（上海）有限公司	2024-02-28	在線詢價(jià)
激光功率測(cè)量系統(tǒng) LPMS	面議		上海倍藍(lán)光電科技有限公司	2024-04-23	在線詢價(jià)
水分活度測(cè)量?jī)x廠商	面議	常州市	常州金壇泰納儀器廠	2024-08-29	在線詢價(jià)

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