Keysight B1500A(安捷倫)的特性和優(yōu)勢包括:
Z越的 IV 測量性能:0.1 fA / 0.5 V 測量分辨率
測量功能包括單通道和多通道掃描、時間采樣、列表掃描、準(zhǔn)靜態(tài) CV(使用 SMU)、HV-SPGU 的直接控制和任意線性波形生成 (ALWG) GUI。
可選的集成電容模塊支持高達 5 MHz 的 CV 測量
可選的基于定位器的 CV-IV 開關(guān)解決方案具有 0.5 V 電壓測量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 電流測量分辨率能力
通過內(nèi)置半自動晶圓探針驅(qū)動器和測試序列輕松實現(xiàn)測試自動化,無需通過快速測試模式進行編程
可選的高壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元 (HV-SPGU) 具有 10 ns 可編程脈沖寬度和 +/- 40 V(80 V 峰峰值)輸出。
可選的波形發(fā)生器/快速測量單元 (WGFMU) 具有 ALWG 和快速電流或電壓測量功能。
10 ns 脈沖 IV 解決方案可用于表征高 k 柵極電介質(zhì)和 SOI(絕緣體上硅)晶體管。
經(jīng)典測試模式可用于提供 4155/4156 界面的外觀、感覺和術(shù)語,同時通過充分利用 Microsoft Windows GUI 功能增強用戶交互
Keysight B1500A (Agilent) 半導(dǎo)體器件分析儀的主要規(guī)格包括:
一般特征
帶有 Windows XP Professional 操作系統(tǒng)的基于 PC 的儀器
用于電流電壓 (IV)、電容電壓 (CV)、脈沖生成、快速 IV 和時域測量的單盒解決方案。
十個用于源監(jiān)視器單元 (SMU) 和其他模塊類型(MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU)的模塊插槽 *
通過 Desktop EasyEXPERT 軟件進行離線數(shù)據(jù)分析和應(yīng)用測試開發(fā)
測量能力
支持 0.1fA 和 0.5V 的電流-電壓 (IV) 測量
支持準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容電壓 (CV) 測量]
支持脈沖 IV、NBTI 和 RTS 測量等廣泛應(yīng)用的準(zhǔn)確快速 IV 和時域測量。
支持用于高功率和存儲設(shè)備測試的高壓脈沖生成(高達 ±40 V)。