產(chǎn)品特點(diǎn)
- 高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;
- 滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);
- 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長(zhǎng)溫度更低。
技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 型號(hào) | TFE - 1200 - 50 - Ⅰ - 220 |
可達(dá)溫度 | 1150℃(短期) | |
額定溫度 | 1100℃ | |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 220mm | |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 80mm | |
加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲 | |
額定功率 | 3KW | |
供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制) | |
射頻電源 | 射頻功:5-500W;射頻頻:13.56MHz;匹配方式:自動(dòng)匹配 | |
真空系統(tǒng) | 雙級(jí)旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等) | |
外形尺寸 | 1250*510*810mm |