三路混氣高溫爐是一款集混氣系統(tǒng)和高溫爐為一體的設(shè)備，具備集成化程度高、占地面積小等優(yōu)勢?；鞖庀到y(tǒng)可同時進行三路混氣，每一路均采用質(zhì)量流量計控制，可精確控制進氣流量；高溫爐采用硅碳棒加熱，加熱效率更高。是金屬、非金屬及其它化合物進行燒結(jié)、熔化、分析和研制的專用設(shè)備。
| 項目 | 型號 | TFC - 1400 - 60 - Ⅰ- 400 |
適配電源 | 220V 50/60Hz | |
外形尺寸 | 700*650*750mm | |
額定功率 | 6.5kW | |
爐管尺寸 | 石英管Ø60*1000mm（Ø30/50/80/100） | |
氣路 | 質(zhì)量流量計：進氣控制由質(zhì)量流量計控制 量程是0-100sccm（可定制） 真空壓力表：-0.1-0.15MPa | |
溫控系統(tǒng) | S型熱電偶 7寸集成式觸摸屏控制 | |
溫度控制 | 0-1300℃（溫度可定制） | |
氣路數(shù)量 | 1-3路（MFC） | |
工作氣體 | 空氣、氮氣和惰性氣體 不可通入易燃易爆性氣體 | |
混氣罐容量 | 1L | |
數(shù)據(jù) | 可用U盤導出數(shù)據(jù) | |
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