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系統(tǒng):
◆測(cè)量功能:精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前
◆測(cè)量技術(shù):DynaPhase動(dòng)態(tài)測(cè)量技術(shù);可選模式:機(jī)械相移測(cè)量(PSI)
◆校準(zhǔn)系統(tǒng):
◆動(dòng)態(tài)模式:DyanaPhase 對(duì)準(zhǔn)向?qū)?zhǔn);
◆移相模式:快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)
◆對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV :±3°
◆測(cè)量光束直徑: 4″(102mm)
◆光學(xué)中心線 :4.25″(108mm)
◆激光光源:大功率穩(wěn)定氦-氖激光,III
◆波長(zhǎng): 633 nm
◆頻率穩(wěn)定度: < 0.0001 nm
◆相干長(zhǎng)度 :>100m
◆成像分辨率:1200 x 1200 像素
◆幀速:50Hz(600 x 600 像素:82Hz)
◆數(shù)據(jù)模式:10位
◆放大:電控塔臺(tái)切換,1X,1.7X,3X
◆偏振:接近圓偏振(1.2:1或者更好)
◆光曈調(diào)焦范圍: ±2m
◆無(wú)線遙控:聚焦,放大,校準(zhǔn)控制;遙控范圍:15m
◆計(jì)算機(jī)和軟件:高性能DELL PC , Windows7 , 64 位, ZYGO MetroproTM X軟件
◆安裝構(gòu)造:水平臥式或垂直立式
◆附件:參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?,OMP-0463
◆尺寸(長(zhǎng)x寬x高) :60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.);帶移相器長(zhǎng)度增加9cm(3.6in.)
◆重量 :≤80lb(36 Kg);帶移相器增加10lb(5kg)
◆電源 :100-240VAC,50/60Hz
◆保修期 :2年
技術(shù)參數(shù):
◆RMS重復(fù)性:< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
◆RMS波前重復(fù)性:
動(dòng)態(tài)模式: < 1.0 nm,λ/600 (mean + 2σ)
移相模式: < 0.25 nm,λ/2500 (mean + 2σ)
◆像素峰值偏差:
動(dòng)態(tài)模式:< 2.0 nm, λ/300 (99.5th %)
移相模式: < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)
◆條紋分辨率:
動(dòng)態(tài)模式:250 條紋(每種放大倍率)
移相模式:500條紋(每種放大倍率)
◆曝光時(shí)間 :12usec(?。?/span>
◆數(shù)據(jù)采樣速度: ≤82幅數(shù)據(jù)圖像/秒
◆LivePhaseTM :Zernike擬合分析的實(shí)時(shí)相位信息
◆相位影像 記錄≤82幅/秒過(guò)程中的信息,可存儲(chǔ)為AVI格式文件和保留原始數(shù)據(jù)文件
◆外部影像:觸發(fā)器 TTL信號(hào)