系統(tǒng)參數(shù):
◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷,高線(xiàn)性電容傳感器
◆視場(chǎng):標(biāo)準(zhǔn)配置:0.04-16mm,跟物鏡和放大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范圍
◆視場(chǎng)放大倍率:高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭:0.5X,0.75X,1X(標(biāo)配),1.5X,2.0X
◆光源: 均勻成像,高效率,特殊設(shè)計(jì)長(zhǎng)壽命白光LED
◆物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具
◆控制 :濾光板托架,視場(chǎng)光闌(輔助聚焦)
◆測(cè)量陣列:標(biāo)配1024×1024 像素;可選分辨率:512×512,1024X160像素
◆樣件觀察: 專(zhuān)用液晶顯示屏實(shí)時(shí)觀察
◆精密聚焦 :電控手動(dòng)和自動(dòng)聚焦
◆Z 軸驅(qū)動(dòng):直流無(wú)刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),100mm 行程,0.1μm 精度
◆尺寸:系統(tǒng)尺寸:151×73×61cm ,NewView:75×64×56cm,隔振平臺(tái):76X61X61mm
◆重量 :系統(tǒng)重量:約229Kg
◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz
◆計(jì)算機(jī): 帶液晶顯示器的高性能DELL 計(jì)算機(jī)
◆軟件:ZYGO MX軟件
◆物鏡座: 標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具,選配:手動(dòng)4位塔臺(tái)和電動(dòng)4位塔臺(tái)
◆物鏡:1X,2X,2.75X,5.5X,10X,20X,50X,100X。
◆塔臺(tái):手動(dòng)6位塔臺(tái);電控 64位塔臺(tái);
◆樣品臺(tái):俯仰(±4°)和XY 平移(100mm)和電動(dòng)/俯仰(±4°)和XY 平移(150mm)電動(dòng)可選
◆縱向掃描范圍:150μm,拓展掃描模式可到20mm,
◆縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.34μm(100X物鏡下)
◆掃描速度 ≤96μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關(guān)
◆大數(shù)據(jù)點(diǎn): 標(biāo)準(zhǔn)307200;可選984064;
◆RMS 重復(fù)性 <0.01 nm, RMSσ
◆臺(tái)階測(cè)量:準(zhǔn)確度 ≤ 0.75% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ
◆傾斜表面測(cè)量:光滑表面55度,散射表面86度。
◆測(cè)樣品特性:各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
◆反射率: 0.5-99%
◆大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長(zhǎng));