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美國(guó)ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7100

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  • 型號(hào)
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  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-03-26
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量458
  • 人氣值1070
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美國(guó)ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7100 產(chǎn)品詳情
美國(guó)ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7100
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美國(guó)ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7100

系統(tǒng)參數(shù):

◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置閉環(huán)反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器,

視場(chǎng)放大倍率:高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭:0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

成像放大: 電動(dòng)位系統(tǒng)成像放大

◆視場(chǎng):0.03-14mm,跟物鏡和放大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范圍

◆光源均勻成像,高效率,特殊設(shè)計(jì)長(zhǎng)壽命白光LED物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具

◆控制 :濾光板托架,視場(chǎng)光闌(輔助聚焦)

◆測(cè)量陣列:標(biāo)配640×480 像素;可選更高分辨率992×992

◆樣件觀察專用液晶顯示屏實(shí)時(shí)觀察

◆精密聚焦 :電控手動(dòng)和自動(dòng)聚焦

◆Z 軸驅(qū)動(dòng):直流無(wú)刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),200mm 行程,0.1μm 精度

◆尺寸:157×132×89cm ,NewView81×58×41cm , 

◆重量 :系統(tǒng)重量:約430Kg

◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz

◆計(jì)算機(jī)帶液晶顯示器的高性能DELL 計(jì)算機(jī)

◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件

◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:動(dòng)位塔臺(tái);電控 位塔臺(tái); 

物鏡:  1X,2X,2.5X,5X,10X, 20X,50X,100X

◆樣品臺(tái):手動(dòng),俯仰.傾斜(±6°)XY 平移(±100mm),電動(dòng),俯仰(±4°)XY 平移(152mm)電動(dòng)俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-ThetaXY平移(152mm) 三種可選.

縱向掃描:150μm,拓展掃描模式可到20mm,

縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.369.5μm,與所選物鏡有關(guān),

◆掃描速度 ≤26μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關(guān)

◆大數(shù)據(jù)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)307200;可選984064;

◆RMS 重復(fù)性 <0.01 nm, RMSσ

◆臺(tái)階測(cè)量 :準(zhǔn)確度 ≤ 0.75% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ

◆測(cè)樣品特性:各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射

◆大尺寸: 89×203×203mm(××長(zhǎng));反射率: 1-99%


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