SINTAIKE_STK-6120半自動晶圓減薄前貼膜機
SINTAIKE STK-6120半自動晶圓減薄前貼膜機規(guī)格:
晶圓尺寸:8”& 12”晶圓;
常規(guī)產(chǎn)品厚度:200~750微米;
Bump產(chǎn)品厚度:晶圓 200~400微米;
凸塊 50~200微米;
晶圓翹曲:≤5mm;
晶圓種類:硅或其它;
單平邊,V型缺口;
膠膜種類:藍(lán)膜或者UV膜;
寬度:240~340毫米;
長度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
貼膜原理:防靜電滾輪貼膜;
滾輪溫度:室溫~80攝氏度;
貼膜動作:自動拉膜和貼膜;
晶圓臺盤:二合一特氟龍防靜電涂層接觸式臺盤或硅膠臺盤,臺盤溫度:室溫~100℃;
裝卸方式:晶圓手動放置與取出;
防靜電控制:防靜電特氟龍涂層晶圓臺盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器;
晶圓定位:通用標(biāo)線/彈簧銷釘;
控制單元:基于PLC 控制,并帶5.7”觸摸屏;
安全防護(hù):配置緊急停機按鈕;
電源電壓:相交流電220V,10A;
壓縮空氣:5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2.5立方英尺;
機器外殼:白色噴塑金屬外殼;
體積:670毫米(寬)*1180毫米(深)*550毫米(高);
凈重:85公斤;
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