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Gaertner stokes 微點橢偏儀LSE-MS

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2021-11-22
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量199
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Gaertner stokes 微點橢偏儀LSE-MS,Gaertner stokes microspot ellipsometer LSE-MS
Gaertner stokes 微點橢偏儀LSE-MS 產(chǎn)品詳情
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Gaertner Scientific Corporation

Gaertner stokes 微點橢偏儀LSE-MS

Gaertner stokes microspot ellipsometer LSE-MS

LSE-MS微點系統(tǒng)

與上面可選的LRS 6英寸線性x 360°旋轉(zhuǎn)平臺一起顯示

stokes微點橢圓儀LSE-MS描述
具有15微米的測量激光束直徑,手動XY千分尺定位臺和用于查看PC上測量區(qū)域的照相機。可以測量小至15 X 45微米的面積。該裝置簡單而堅固的設(shè)計提供了易用性和瞬時測量功能,是過度復(fù)雜的橢圓儀的受歡迎替代方案。

LSE-MS橢圓儀使用*的StokesMeter™技術(shù)(曾榮獲Photonics Spectra和R&D 100新產(chǎn)品獎),它沒有運動部件,也沒有調(diào)制器,可以快速準確地確定入射角為70°的6328?激光測量光束的完整偏振態(tài)。激光光源具有足夠的光強度,以提高吸收膜和粗糙散射膜的測量精度。激光源還具有光譜精確,穩(wěn)定和持久的優(yōu)勢。它們的使用可以在光學器件,檢測器和其他組件中實現(xiàn)的儀器設(shè)計,從而可以進行高度精確的測量。節(jié)省空間的設(shè)計占地面積小,但可容納300mm寬的大型樣品。

高速薄膜厚度測量系統(tǒng)可在不到一秒鐘的時間內(nèi)完成測量!

特征

  • *,無移動部件的高級StokesMeter™ 測量頭。

  • 測量極化的完整狀態(tài),以提高準確性。

  • 使用光譜精確的激光橢偏儀進行準確,穩(wěn)定的測量。

  • 的薄膜測量儀器。

  • 免傾斜,免聚焦,免提操作,適用于類似晶片。

  • 簡單,緊湊的臺式儀器-價格具有競爭力。

gaertner橢偏儀測量程序LGEMP說明
LGEMP Windows軟件用途廣泛,可以測量單層膜(例如氧化物,氮化物和光致抗蝕劑)以及已知的1、2或3層堆棧的頂層,例如在氧化物上的多晶和在多晶上的氧化物在氧化物上。單層有機膜是LSE模型的精度和穩(wěn)定性的應(yīng)用。

“文件處理程序”可以保存和快速檢索常用的測量設(shè)置參數(shù)。可以將四個用戶定義的設(shè)置文件分配給一個步驟的“按即走”快捷按鈕,以快速訪問不同的測量設(shè)置。

LGEMP程序中放大PSI-Delta映射允許對薄膜模型進行理論上的“假設(shè)”類型模擬;對電影模型有更深入的了解。頂層薄膜厚度T1(粉紅色線),折射率Nf1(紅線),吸收Kf1(棕線),Y(黃線), D(綠線),左側(cè)帶有可移動滑塊,可迅速顯示變化的影響模型參數(shù)對薄膜折射率的分辨率和可測量性。淺綠色線是恒定膜折射率Nf1的線。白線是Autofix Nf1的區(qū)域,在該區(qū)域中無法輕松解析索引。

stokesmeter™技術(shù)的說明
這種*的設(shè)備無需移動部件,也不需要調(diào)制器,可以快速,準確地確定測量光束的完整偏振狀態(tài)。


上圖顯示了用于同時測量所有四個Stokes光參數(shù)StokesMeter™旋光儀待確定其偏振狀態(tài)的光束以傾斜的入射角連續(xù)入射三個光電探測器表面,每個光電探測器表面均被部分光譜反射,并且每個光電探測器表面均產(chǎn)生與光電探測器的分數(shù)成比例的電信號。它吸收的輻射。第四光電探測器基本上*吸收光,并檢測其余的光。這樣形成的四個輸出形成一個4x1信號矢量I,它與輸入斯托克斯矢量 S線性相關(guān),即I = AS所以,小號通過獲得S =甲(-1)。4x4儀器矩陣 A必須是非奇異的,這要求前三個檢測器表面的入射平面都不同。對于給定的四個檢測器布置,可以通過校準來計算或確定A。

技術(shù)優(yōu)勢
簡單,緊湊的 StokesMeter™ 取代了由鼓,棱鏡,編碼器,開關(guān),電動機和檢測器及其相關(guān)電子設(shè)備組成的典型旋轉(zhuǎn)分析儀組件。此外,消除了偏振器臂上的波片機構(gòu),從而實現(xiàn)了快速,精確,無移動的橢圓偏振儀。

斯托克斯(Stokes)橢圓儀的一項杰出功能是對由于樣品不平整而導(dǎo)致的角射束偏差的微小變化進行了補償;這樣就可以在整個晶圓表面上進行快速,連續(xù)的測量,而無需暫停以校正聚焦和傾斜。。

LSE-MS斯托克斯橢圓儀非常精確和穩(wěn)定,在基本的復(fù)雜橢圓儀中是的價值。LSE-MS型橢偏儀附帶LGEMP Windows™軟件,USB電纜,XY樣品臺和參考晶圓。它通過2個USB 2.0端口連接到Windows™PC或筆記本電腦。

LSE-MS可以配備以下選項:

可選的線性旋轉(zhuǎn)樣品臺LRS 6英寸線性和360度旋轉(zhuǎn)樣品臺代替了標準樣品臺

可選的WIN 10便攜式PC,
帶有預(yù)裝的驅(qū)動程序以及軟件和安全電纜 可選的Stokes校準套件L118-KIT 使用4個Gaertner可追溯晶片加2美元玻璃(L118G-KIT)或 4個NIST可追溯晶片加玻璃$ 3.5 K 重新校準任何Stokes橢偏儀。L118N-KIT)。 中號OST用戶 不需要橢偏儀校準。適用于具有極其嚴格的公差和法規(guī)遵從用戶的的半導(dǎo)體制造商。斯托克斯

橢圓儀LSE-MS規(guī)格

對準:使用計算機校準屏幕手動調(diào)整傾斜度和工作臺高度。
相機在PC上顯示測量區(qū)域
入射角:70度
測量方法:*的StokesMeter無需移動部件和調(diào)制器,只需4個固定式硅探測器,即可確定完整的測量光束偏振,因此測量是穩(wěn)定且精確的。
測量時間:實際上是瞬時的
測量激光:6328?HeNe氣體激光器,測量光束直徑為15 x 45 um
對準激光:670nm激光二極管
樣品(晶圓)尺寸:接受300毫米寬X無限長度
階段:XY手定位具有傾斜度和工作臺高度調(diào)節(jié)。
軟件:包括Windows™LGEMP 4層吸收程序。
所需計算機: 具有2個USB 2.0端口(不包括)的Windows™臺式機或筆記本電腦。
膜厚范圍:基板上,1、2、3或4個已知子層上的0-60,000埃。
精度和重復(fù)性:在大多數(shù)測量范圍內(nèi)低于亞埃。
折光率:在大多數(shù)測量范圍內(nèi)為±0.0005。
功率:100V-240V,50-60Hz。1個
尺寸圖高度:16.5寬度:27.5深度:16英寸
凈重:45磅。運輸重量:65磅。
CDRH合規(guī)性:蓋特納(Gaertner)提供的所有激光橢圓儀均符合CDRH要求21CFR 1040,用于發(fā)出小于1 mW的II類激光產(chǎn)品或小于5 mW的IIIb類激光產(chǎn)品。與任何明亮的光源(例如太陽燈或弧光燈)一樣,操作員不得直接凝視激光束或從高反射表面反射激光束。
CE合規(guī)性:斯托克斯橢偏儀符合歐洲安全指令并帶有CE標志。
保證:1年保修涵蓋所有零件和人工,不包括運輸費用







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熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
分光橢偏儀SEMILAB在線光譜橢偏儀SE-3000 ¥39000 重慶市 重慶津澤機電科技有限公司 2023-03-27 在線詢價
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