一、 氣體流量控制器產(chǎn)品概述
采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的 MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的 MEMS( Microelectromechanicalsystems)氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測(cè)量精度高,無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償。
二、 氣體流量控制器技術(shù)參數(shù)
2.1 測(cè)量介質(zhì):空氣,氮?dú)?,二氧化碳,氬氣,氧氣,氫氣,氦?/span>