一、氣體質(zhì)量流量控制器原理
uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度一致，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)法保證其傳感器的電阻值的一致性，導(dǎo)致傳感器在各個(gè)法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)在傳感器校準(zhǔn)和使用過(guò)程中產(chǎn)品穩(wěn)大定性存在問(wèn)題，實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問(wèn)題。而 uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計(jì)，同時(shí)可靠性穩(wěn)定,安全性更好。在芯片上，一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用 MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高。當(dāng)傳感器工作時(shí)，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是 70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場(chǎng)分布。如果氣體是單向流動(dòng)，則在氣道中溫度場(chǎng)可用下述公式來(lái)計(jì)算：
二、氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù) 采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的 MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的 MEMS（ Microelectromechanicalsystems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償。三、 氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
2.1 測(cè)量介質(zhì)：空氣，氮?dú)猓趸?，氬氣，氧氣，氫氣，氦?/span>
2.2 流量范圍： DN2：20-10000mL/min
DN3：1000-30000mL/min
注：(a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言；
(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) 20℃，101.325kPa。
(c)每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大
(d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨(dú)標(biāo)定
2.3 允許誤差：±1.5%FS
2.4 精度保證溫度：15-35℃；
2.5 工作壓力范圍：
MFM:工作壓力≦1MPa 耐壓：3MPa
MFC：工作壓差：
≦1L/min：0.05-0.3MPa
1-30L/min：0.1-0.3MPa
耐壓：3MPa
2.6 供電電源：24VDC
2.7 輸入信號(hào)：0-5VDC, RS485通訊
2.8 輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；
2.9 環(huán)境溫度：5-45℃；
顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為 6位，累積流量 8位。
