數(shù)顯熱式氣體流量控制器BDD-M100:在一般情況下,質量流量控制器和質量流量計的單位都是以sccm(毫升/分鐘)和slm(升/分鐘)表示;s代表stand,指標準狀況下;cc指毫升;l指升,m代表minute,指分鐘。其實這就意味著,流量控制器在不同的使用條件下,指示的流量全都是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方。
數(shù)顯熱式氣體流量控制器BDD-M100:而對多數(shù)用戶而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑也便于使用,但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量(如g/min或者g/h),這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù), 可以方便地查到,因而簡單地做一個乘法(以密度乘以若干slm)即可實現(xiàn)。所以說,在標準狀態(tài)下的體積流量其實就等同于質量流量。