SHINKU真空光學(xué)貫通型直線導(dǎo)入機(jī)LM-40S-BN
SHINKU真空光學(xué)貫通型直線導(dǎo)入機(jī)LM-40S-BN
迷你手動機(jī)械軸X-34/34
本產(chǎn)品在大氣中進(jìn)行超高真空移動及測定等實(shí)驗(yàn)
為了正確且再現(xiàn)性好地操作X軸的平行移動而設(shè)計(jì),進(jìn)行精密的制作、組裝,本公司的產(chǎn)品廣泛地被各方面利用。
規(guī)格
X方向移動±2.5mm
安裝法蘭:ICF34FT
焊接回流內(nèi)徑:φ17mm
容許泄漏量:1.33X10-11Pa?m3/sec以下
也制作馬達(dá)驅(qū)動。
照片是馬達(dá)驅(qū)動
帶旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)的便攜棒WSR-80
其他,根據(jù)用途進(jìn)行設(shè)計(jì)。
規(guī)格
焊接回流:伸縮方式
行程:0~80mm(也有100mm)、360°旋轉(zhuǎn)
安裝法蘭:ICF70FH
厚連桿:Φ6、前端部會根據(jù)用途制作
容許泄漏量:1.33X10-11Pa?m3/sec以下
貫通型直線導(dǎo)入機(jī)LM-40S-BN(LM-80S-BN)
本產(chǎn)品在以往的直線導(dǎo)入機(jī)上附加了各種導(dǎo)入機(jī)、魚叉等安裝的法蘭,不僅可以用于超高真空槽的直線移動、定位等單純的直線導(dǎo)入機(jī),還可以進(jìn)行各種復(fù)合操作。
由于安裝法蘭是ICF法蘭,所以可以利用一般的送通,例如,與使用電流導(dǎo)入端子的可動型檢測器、其他的運(yùn)動導(dǎo)入機(jī)組合而安裝了2軸動作型機(jī)械手、閥門等的可動型噴嘴、可以考慮斯尼弗等廣泛的應(yīng)用。
規(guī)格
移動距離:0~40mm(LM-40S-BN)、0~80mm(LM-80S-BN)
連接法蘭:ICF70FH
擴(kuò)展安裝法蘭:ICF34FTBNC付ICF34
定位精度:1rev.2mm1刻度/0.1mm
容許泄漏量:1.33X10-11Pa?m3/sec以下
同軸直線導(dǎo)入機(jī)MLM-80S-BN(MLM-40S-BN)
本產(chǎn)品與以往的直線導(dǎo)入機(jī)不同,可動軸貫通,加上可以安裝釣魚等的法蘭,使超高真空槽內(nèi)的直線移動、定位等能夠進(jìn)行各種復(fù)合操作,因此附加了安裝法蘭ICF34可利用一般的送通,與使用電流導(dǎo)入端子的可動型檢測器及其他運(yùn)動導(dǎo)入機(jī)組合,可安裝2軸動作機(jī)器人、氣體導(dǎo)入閥等的可動型噴嘴、輕便毛皮等廣泛使用。
規(guī)格
焊接回流使用:伸縮方式
精度:2mm/Rev0.1mm/div
移動距離:0~40mm(MLM-40S-BN)、0~80mm(MLM-80S-BN)
連接法蘭:ICF34FH
擴(kuò)展安裝法蘭:ICF34附FTBNC ICF34
容許泄漏量:1.33X10-11Pa?m3/sec以下
自動直線導(dǎo)入機(jī)AVL-80
規(guī)格
焊接回流驅(qū)動
分辨率:0.00002mm/脈沖
連接法蘭:ICF70
行程:80mm
容許泄漏量:1.33X10-11Pa?m3/sec以下
直線導(dǎo)入機(jī)VL-40S,VL-70S,MLM-40ST,VCM-B
規(guī)格
焊接回流使用:伸縮方式
精確度:1mm/Rev、0.05mm/div
連接法蘭:ICF70(114、152也可制作)
行程:0~40mm
容許泄漏量:1.33X10-11Pa?m3/sec以下