ICF70XY機械軸真空光學(xué)SHINKU機械臂
ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10
KMMR-34
VBR-70
X-34/34
WSR-80
ICF70XY機械軸真空光學(xué)SHINKU機械臂
ICF70XY機械軸真空光學(xué)SHINKU機械臂
回轉(zhuǎn)導(dǎo)入機VBR-70
規(guī)格
使用焊接回流10 deg/1刻度
傳遞扭矩2N?m手動
連接法蘭ICF70FH
旋轉(zhuǎn)棒φ8（SUS304）帶限位器
約820g
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
ICF114XY機械軸XY-114M
規(guī)格】
X?Y平行移動±3ｍｍ
最小分辨率0.00004mm/脈沖
安裝法蘭ICF 114
玫瑰內(nèi)徑60mm40mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
也會手工制作
迷你手動機械軸X-34/34
本產(chǎn)品在大氣中進(jìn)行超高真空移動及測定等實驗
為了正確且再現(xiàn)性好地操作X軸的平行移動而設(shè)計，進(jìn)行精密的制作、組裝，本公司的產(chǎn)品廣泛地被各方面利用。
規(guī)格
X方向移動±2.5ｍｍ
安裝法蘭：ICF34FT
焊接回流內(nèi)徑：φ17ｍｍ
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
也制作馬達(dá)驅(qū)動。
照片是馬達(dá)驅(qū)動
帶旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機的便攜棒WSR-80
其他，根據(jù)用途進(jìn)行設(shè)計。
規(guī)格
焊接回流：伸縮方式
行程：0～80mm（也有100mm）、360°旋轉(zhuǎn)
安裝法蘭：ICF70FH
厚連桿：Φ6、前端部會根據(jù)用途制作
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
貫通型直線導(dǎo)入機LM-40S-BN(LM-80S-BN)
本產(chǎn)品在以往的直線導(dǎo)入機上附加了各種導(dǎo)入機、魚叉等安裝的法蘭，不僅可以用于超高真空槽的直線移動、定位等單純的直線導(dǎo)入機，還可以進(jìn)行各種復(fù)合操作。
由于安裝法蘭是ICF法蘭，所以可以利用一般的送通，例如，與使用電流導(dǎo)入端子的可動型檢測器、其他的運動導(dǎo)入機組合而安裝了2軸動作型機械手、閥門等的可動型噴嘴、可以考慮斯尼弗等廣泛的應(yīng)用。
規(guī)格
移動距離：0～40mm（LM-40S-BN）、0～80mm（LM-80S-BN）
連接法蘭：ICF70FH
擴(kuò)展安裝法蘭：ICF34FTBNC付ICF34
定位精度：1rev.2mm1刻度／0.1mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
