PSS A7000 APS-DLS 激光粒度儀
光阻法模塊結(jié)合動(dòng)態(tài)光散射模塊
自動(dòng)稀釋技術(shù),實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)大范圍檢測(cè)
基本信息
儀器型號(hào):PSS A7000 APS-DLS
工作原理:單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing,SPOS)
動(dòng)態(tài)光散射理論(Dynamic Light Scattering, DLS)
檢測(cè)范圍: 6nm-2500μm
PSS A7000 APS-DLS全自動(dòng)激光粒度儀開(kāi)創(chuàng)性的將光阻法和動(dòng)態(tài)光散射法結(jié)合在一起,集自動(dòng)進(jìn)樣、自動(dòng)稀釋、自動(dòng)檢測(cè)、數(shù)據(jù)處理以及自動(dòng)清洗等全自動(dòng)檢測(cè)功能于一身,為用戶(hù)提供可方便、快捷、高效、可靠的粒徑分析,其測(cè)量范圍可達(dá)6nm - 2500 μm。
A7000 APS-DLS搭載光阻法檢測(cè)模塊和動(dòng)態(tài)光散射模塊,將瑞利散射理論和光阻理論有機(jī)結(jié)合在一起,不僅能對(duì)較大的亞微米級(jí)別的粒子進(jìn)行顆粒計(jì)數(shù),更能檢測(cè)納米級(jí)別的樣本的粒度分布。在傳統(tǒng)的經(jīng)典光散射(激光衍射,Laser Diffraction)之外,對(duì)于高分散體系多了一個(gè)選擇。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
檢測(cè)范圍廣6 nm - 2500μm;
高分辨率,高靈敏性,統(tǒng)計(jì)精度高;
雙模塊化設(shè)計(jì),既能獨(dú)立工作,又能有機(jī)組合;
集自動(dòng)進(jìn)樣、自動(dòng)檢測(cè)、數(shù)據(jù)處理以及自動(dòng)清洗等自動(dòng)化功能與一身;
高分辨率
分辨率,在這里指的是分辨同一體系內(nèi)不同粒徑大小的能力。得益于超前的設(shè)計(jì)理念和軟硬件組合,SPOS技術(shù)除了能夠呈現(xiàn)*不同于經(jīng)典光散射的顆粒計(jì)數(shù)分布外,相對(duì)于經(jīng)典的電阻法和光阻法,具有更高的分辨率和精準(zhǔn)性。它不會(huì)錯(cuò)過(guò)任何顆粒細(xì)節(jié),而這些細(xì)節(jié)往往是決定產(chǎn)品好壞的標(biāo)準(zhǔn)。
圖1高分辨率展示
如圖1所示,同一個(gè)樣本中混合0.7μm,0.8μm,1.3μm,2μm,5μm,10μm,15μm,20μm,50μm,100μm,200μm 11種標(biāo)準(zhǔn)PSL粒子,SPOS技術(shù)可以很容易將每種不同大小的標(biāo)粒區(qū)分清楚。
圖2 SPOS VS Laser diffraction
圖2展示了同一個(gè)樣本在SPOS技術(shù)和激光衍射法(Laser diffraction,LD)粒度儀中測(cè)得的結(jié)果。樣本使用的是過(guò)400目篩(37μm)的樣本。SPOS技術(shù)(綠色線(xiàn))顯示在35μm以上是沒(méi)有粒子的,這和實(shí)際情況相符。但是使用LD檢測(cè)得到的僅僅是“相似”的分布,但是在100μm本來(lái)沒(méi)有顆粒的情況下卻給出了還有大量大顆粒的假性結(jié)果。
高靈敏度
APS-DLS系統(tǒng)提供了超高的靈敏度,依托于SPOS技術(shù),哪怕只有一顆顆粒,也不會(huì)放過(guò),靈敏度可以達(dá)到10PPT等級(jí)。高靈敏度確保了樣品檢測(cè)的細(xì)節(jié)不被忽視,滿(mǎn)足了制造業(yè)升級(jí)過(guò)程中,除了粒徑檢測(cè)的需求外,還要對(duì)或大或小的游離顆粒的控制,無(wú)論是半導(dǎo)體行業(yè)尾端大顆粒對(duì)良率的影響,還是鋰電行業(yè)正負(fù)極材料小顆粒對(duì)安全性的危害。APS-DLS系統(tǒng)都可以準(zhǔn)確識(shí)別,為制造業(yè)保駕護(hù)航。
圖3 高靈敏度展示
圖3展示了一個(gè)樣本檢測(cè)前,僅加入10μL的50μm標(biāo)準(zhǔn)乳膠粒子,混合好后進(jìn)行檢測(cè),如圖所示儀器依舊很準(zhǔn)確的檢測(cè)出來(lái),并且告知加入的50μm標(biāo)粒僅有33顆,粒徑是50.127μm。
高效的粒度分析
APS-DLS系統(tǒng)的高靈敏度、高分辨率不僅帶來(lái)了更為接近真實(shí)情況的粒徑分布,同時(shí)檢測(cè)快速,節(jié)省客戶(hù)時(shí)間,僅需幾分鐘,既可獲得檢測(cè)結(jié)果。同時(shí)儀器支持自動(dòng)進(jìn)樣、自動(dòng)清洗、自動(dòng)稀釋等功能,將大大提高實(shí)驗(yàn)室工作效率,幫助他們?yōu)榘雽?dǎo)體,乳劑,粉體客戶(hù)更快地獲得重要結(jié)果。
APS-DLS系統(tǒng)同樣支持在線(xiàn)系統(tǒng),集成在產(chǎn)線(xiàn)中的關(guān)鍵監(jiān)控點(diǎn),實(shí)時(shí)檢測(cè)粒度結(jié)果,發(fā)現(xiàn)異常,及時(shí)處理,降低工作成本,簡(jiǎn)化工作流程。
真實(shí)的粒徑分布
粒粒皆清楚,不丟失任何細(xì)節(jié)。
不同行業(yè)對(duì)粒度檢測(cè)的需求其實(shí)一直各有側(cè)重點(diǎn),為了獲得更真實(shí)的粒徑結(jié)果,往往需要通過(guò)電鏡等儀器進(jìn)行分析,但存在著統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)不足以及不利于規(guī)模化檢測(cè)的弊端。為了滿(mǎn)足大量即時(shí)的檢測(cè)需求,經(jīng)常以犧牲精確性和分辨率來(lái)?yè)Q取檢測(cè)速度和易用,但僅能獲得平均粒徑以及分布的檢測(cè)已無(wú)法滿(mǎn)足現(xiàn)在行業(yè)的發(fā)展。
APS-DLS系統(tǒng)對(duì)于細(xì)節(jié)的把控,可以確保檢測(cè)結(jié)果接近真實(shí)的情況,幫助質(zhì)量形成統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)方案,監(jiān)控批間差異,穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量。
圖4 較均勻的樣品SPOS VS 電鏡下掃描結(jié)果
圖5 不均勻的樣品SPOS VS 電鏡下掃描結(jié)果
圖4和圖5展示了一個(gè)均勻的樣本和一個(gè)不均勻的樣品在SPOS技術(shù)及電鏡下的檢測(cè)結(jié)果。均勻的樣本在電鏡下顆粒之間大小較為相似,相應(yīng)的SPOS技術(shù)檢測(cè)可見(jiàn)譜圖較窄。而不均勻的樣本,電鏡下可以看到大大小小的顆粒,相應(yīng)SPOS技術(shù)檢測(cè)的結(jié)果出現(xiàn)高高低低的峰,與電鏡結(jié)果可直接對(duì)應(yīng)。
工作原理
目錄結(jié)構(gòu):
1.單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)簡(jiǎn)介
2.傳統(tǒng)光阻法和光散法測(cè)量粒度的原理
3.PSS的SPOS技術(shù)介紹
4.自動(dòng)稀釋原理介紹
1、單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)簡(jiǎn)介
單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing, SPOS)是一種用于測(cè)量溶劑中懸浮粒子的大小和數(shù)量濃度的激光粒度檢測(cè)通用技術(shù)。在SPOS技術(shù)中液體懸浮液中的粒子流經(jīng)傳感器的樣品池時(shí),在激光光源的照射下,被阻擋或者被散射的光會(huì)轉(zhuǎn)變成脈沖電壓信號(hào),脈沖信號(hào)的大小是由粒子的截面面積和物理判定規(guī)則即光散射或者光阻共同決定的。光阻也被稱(chēng)為不透光度或者光消減。而粒子間的相互阻擋和散射是和粒子的大小和濃度是有關(guān)系的,利用脈沖幅度分析器和校準(zhǔn)曲線(xiàn)便可以得到懸浮粒子的數(shù)量濃度和粒度大小分布。傳統(tǒng)光阻法可以測(cè)得1.5μm以上的粒子和并具有較高的分辨率。
單顆粒傳感技術(shù)(SPOS)*了常見(jiàn)粒度儀檢測(cè)技術(shù)在檢測(cè)粒徑分布中的重要不足—粒子數(shù)量的統(tǒng)計(jì)。自AccuSizer 780系列儀器誕生,以往以犧牲精確性和分辨率來(lái)?yè)Q取檢測(cè)速度和易用的歷史一去不復(fù)返!
粒粒皆清楚,不丟失任何細(xì)節(jié)。
2.傳統(tǒng)光阻法與光散射法原理
Figure 1 光阻法檢測(cè)示意圖
圖1為光阻法檢測(cè)原理圖,待測(cè)液體流過(guò)橫截面很小的流通池,流通池兩側(cè)裝有光學(xué)玻璃,激光器的光束通過(guò)透鏡組準(zhǔn)直,光束穿過(guò)流通池并被光電探測(cè)器所接收。若待測(cè)液體中沒(méi)有顆粒,則光電探測(cè)器接收到的光信號(hào)穩(wěn)定不變,輸出的電壓信號(hào)也恒定,將此恒定信號(hào)作為基準(zhǔn)電壓;若液體中有顆粒物質(zhì),顆粒通過(guò)流通池傳感區(qū)域,將會(huì)遮擋激光,光電探測(cè)器接收到的光信號(hào)減小,產(chǎn)生一個(gè)負(fù)的脈沖電信號(hào),如下圖2所示。
Figure 2 光電二極管信號(hào)
脈沖信號(hào)幅度與基準(zhǔn)電壓信號(hào)有如下關(guān)系:
(1)
式(1)中:E為顆粒遮擋引起的脈沖幅度;a為顆粒的有效遮擋面積(等效為球形);A為光電探測(cè)器的有效面積;E0是沒(méi)有顆粒時(shí)的光電探測(cè)器所產(chǎn)生的基準(zhǔn)電壓。因此,脈沖信號(hào)幅度對(duì)應(yīng)顆粒的大小,脈沖信號(hào)個(gè)數(shù)對(duì)應(yīng)顆粒的數(shù)量。
Figure 3 光散射法檢測(cè)原理圖
圖3為光散射法檢測(cè)原理圖,待測(cè)液體流過(guò)流通池,流通池兩側(cè)裝有光學(xué)玻璃,激光器的光束通過(guò)透鏡組準(zhǔn)直,光束穿過(guò)流通池,照射在光陷進(jìn)上。若待測(cè)液體中沒(méi)有顆粒,則光電探測(cè)器就收不到光信號(hào),若液體中有顆粒,顆粒通過(guò)流通池,與激光光束發(fā)生散射現(xiàn)象。某一個(gè)(或幾個(gè))角度下的散射光通過(guò)透鏡收集匯聚到光電探測(cè)器上,產(chǎn)生正的電信號(hào)脈沖,脈沖信號(hào)的幅度和散射光強(qiáng)成正比。根據(jù)信號(hào)的幅度和個(gè)數(shù)可以對(duì)液體中的微小顆粒進(jìn)行計(jì)數(shù)檢測(cè)。
當(dāng)光束照射含有懸浮微粒的液體時(shí)光能減弱。根據(jù)文獻(xiàn), 此時(shí)懸浮液中微粒會(huì)對(duì)光產(chǎn)生散射和吸收等作用,因?yàn)檫@些作用導(dǎo)致的光強(qiáng)減弱與微粒的濃度存在線(xiàn)性關(guān)系。在文獻(xiàn)中引用了如下公式,來(lái)描述當(dāng)微粒濃度較小時(shí),透射光強(qiáng)與入射光強(qiáng)之間的關(guān)系:
它對(duì)應(yīng)于因?yàn)樯⑸浜臀斩鴮?dǎo)致光的衰減總量。有米氏散射的理論,隨著微粒的增大,光強(qiáng)大量集中于前向0度角附近,圖1中我們也可以注意到這一點(diǎn)。(4)式中沒(méi)有考慮到這樣的事實(shí):在光阻法檢測(cè)中,前向0角度附近的散射光仍然能夠被探測(cè)器接收,因此必須考慮對(duì)散射系數(shù)進(jìn)行修正。實(shí)際中(4)式變?yōu)椋?/p>
3.PSS技術(shù)的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)簡(jiǎn)介
經(jīng)過(guò)光感區(qū)域的粒子由于大小不同,光強(qiáng)隨之產(chǎn)生相應(yīng)的變化。將探測(cè)器收集的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào),不同的電壓信號(hào)對(duì)應(yīng)不同的粒徑大小,從而得到微粒的粒徑。美國(guó)PSS粒度儀公司(Particle Sizing Systems)的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing,SPOS)是在傳統(tǒng)光阻法(LE)大顆粒光學(xué)傳感技術(shù)的基礎(chǔ)上加入了激光散射模塊(LS)。在兩個(gè)模塊(LE+LS)同時(shí)運(yùn)行的情況下,檢測(cè)下限由原來(lái)純光阻的1.5μm下探至0.5μm。使得其在大顆粒檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用更加的廣泛。
SPOS技術(shù)對(duì)粒子的信號(hào)響應(yīng)方式是信號(hào)與特定粒子相對(duì)應(yīng)的。AccuSizer 780系列儀器中的傳感器通過(guò)兩種不同性質(zhì)的物理作用:光消減(light extinction, LE)與光散射(light scattering, LS)對(duì)通過(guò)傳感器的粒子進(jìn)行測(cè)定。光消減技術(shù)檢測(cè)通過(guò)流動(dòng)池的光強(qiáng)變化,擁有檢測(cè)粒子的粒徑范圍廣且與粒子組份無(wú)關(guān)等優(yōu)點(diǎn)。然而,它的靈敏度有限。另一方面,光散射技術(shù)具有相對(duì)窄的動(dòng)態(tài)粒徑范圍 (取決于檢測(cè)器/放大器的飽和值),但能檢測(cè)到小粒徑的粒子,使用大功率激光光源還能檢測(cè)到粒徑更小的粒子。通過(guò)合并光消減和光散射響應(yīng)信號(hào),傳感器可同時(shí)擁有這兩種方法的優(yōu)點(diǎn),因而在不損失單粒子分辨率巨大優(yōu)勢(shì)的前提下?lián)碛邢鄬?duì)較廣的動(dòng)態(tài)粒徑范圍。
圖4 PSS的SPOS原理圖
4. 自動(dòng)稀釋原理介紹
單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing, SPOS)雖然具有*的量化粒度分布的優(yōu)點(diǎn),但是相應(yīng)的粒子間的重合效應(yīng)會(huì)造成檢測(cè)結(jié)果不準(zhǔn)。PSS粒度儀使用的自動(dòng)稀釋機(jī)制,可以將樣品稀釋到目標(biāo)濃度,然后再采集數(shù)據(jù),保證粒度可以以“single”狀態(tài)通過(guò)傳感器,從而實(shí)現(xiàn)高濃度樣本的檢測(cè)。
系統(tǒng)可以根據(jù)稀釋倍數(shù)自動(dòng)計(jì)算給出原樣品顆粒濃度,解決了高濃度樣品的檢測(cè)難題,適合測(cè)試其他技術(shù)手段無(wú)法檢測(cè)高濃度樣本,更加適合測(cè)量樣品量稀少且珍貴的樣品。
圖5 自動(dòng)稀釋原理圖
分析方法及原理 | 動(dòng)態(tài)光散射法+光阻法 |
激光光源 | 15mW固態(tài)光源(可選35mW、50mW) |
檢測(cè)器 | 搭配多檢測(cè)器,PMT、APD、LE |
檢測(cè)形式 | 連續(xù)檢測(cè) |
測(cè)量范圍 (傳感器可選) | 6nm - 2500μm |
檢測(cè)角 | 10-175° |
準(zhǔn)確性 | ±1% |
重復(fù)性 | ±1% |
樣品類(lèi)型 | 水相/有機(jī)相 |
通道數(shù)量 | 512 |
流速范圍 | 60-180ml/min |
進(jìn)樣量 | 5μl-5ml |
取樣方式 | 手動(dòng)/自動(dòng) |
自動(dòng)稀釋 | 標(biāo)配二步稀釋 |
自動(dòng)清洗 | 支持 |
循環(huán)系統(tǒng) | 一體化設(shè)計(jì) |
樣品濃度限值 | 1011個(gè)/ml |
Chamber | 30ml |
閥門(mén)驅(qū)動(dòng)方式 | 標(biāo)配:電動(dòng) 選配:氣動(dòng) |
稀釋系統(tǒng) | 標(biāo)配:超純水 選配:有機(jī)溶劑 |
攪拌器 | 標(biāo)配:磁力攪拌(轉(zhuǎn)速可控) 選配:機(jī)械攪拌 |
Windows系統(tǒng) | Windows 7以上專(zhuān)業(yè)版操作軟件 |
分析操作軟件 | 標(biāo)配:Windows兼容 研發(fā)軟件 |
電源選項(xiàng) | 220 – 240 VAC,50Hz 或100 – 120 VAC,60Hz |
乳劑 | 兩種互不相溶的液體經(jīng)乳化制成的非均勻分散體系,通常是水和油的混合物。乳劑有兩種類(lèi)型,一種是水分散在油中,另一種是油分散在水中。加工過(guò)程中它們均需均質(zhì)化處理到所需的粒徑大小以期獲得穩(wěn)定體系,延長(zhǎng)保質(zhì)期。乳劑穩(wěn)定性與顆粒粒徑分布密切相關(guān),僅關(guān)注粒徑大小并不代表一定穩(wěn)定,乳劑中存在極為少量的微米級(jí)別大顆粒,而這些顆粒的存在不僅會(huì)導(dǎo)致樣品穩(wěn)定性變差,注射使用更會(huì)對(duì)患者造成嚴(yán)重不良反應(yīng)。 |
化學(xué)機(jī)械拋光液 (CMP SLURRY) | 化學(xué)機(jī)械拋光是半導(dǎo)體制造加工過(guò)程中的重要步驟?;瘜W(xué)機(jī)械拋光液是由腐蝕性的化學(xué)組分和磨料(通常是氧化鋁、二氧化硅或氧化鈰)兩部分組成。拋光過(guò)程很大程度上取決于晶片表面構(gòu)型。晶片的加工誤差通常以埃計(jì),對(duì)晶片質(zhì)量至關(guān)重要。拋光液粒度越均勻、不聚集成膠則越有利于化學(xué)機(jī)械拋光加工過(guò)程的順利進(jìn)行。 |
墨水 | 隨著打印機(jī)技術(shù)的不斷發(fā)展,打印機(jī)用的墨水變得越來(lái)越重要。噴墨打印機(jī)墨水的粒度應(yīng)當(dāng)控制在一定的尺度以下,且分布均勻,大的顆粒易于堵塞打印頭并影響打印質(zhì)量。墨水是通過(guò)研磨方法制得的,可用粒度檢測(cè)分析儀器設(shè)備監(jiān)測(cè)其研磨加工過(guò)程,以保證墨水的顆粒粒度分布均勻,避免產(chǎn)生聚集的大顆粒。 |
粉材 | 對(duì)于氧化鋁、硅微粉、鋰電池正負(fù)極等粉體來(lái)說(shuō),粒徑需要控制在合適的范圍內(nèi)才能確保粉體的質(zhì)量,無(wú)論是過(guò)大還是過(guò)小都會(huì)影響材料本身的質(zhì)量。以氧化鋁為例,氧化鋁顆粒過(guò)小則在生產(chǎn)過(guò)程中容易起塵,造成大量的損耗,被認(rèn)為是冶金級(jí)“垃圾”如果顆粒過(guò)大,則具有形成沉淀的傾向,影響氧化鋁在電解質(zhì)中的溶劑速率。 |