Film Sense FS-1™多波長(zhǎng)橢偏儀
LED 光源和非移動(dòng)式部件橢偏探測(cè)器，可在操作簡(jiǎn)單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可靠地薄膜測(cè)量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡(jiǎn)單的 1 秒測(cè)量，就可以獲得非常精密和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。
Film Sense FS-1™多波長(zhǎng)橢偏儀采用壽命長(zhǎng) LED 光源和非移動(dòng) 式部件橢偏探測(cè)器，可在操作簡(jiǎn)單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可靠地薄膜測(cè)量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡(jiǎn)單的 1 秒測(cè)量，就可以獲得非常精密和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測(cè)量大多數(shù)樣品的光學(xué)常 數(shù)和其他薄膜特性。
Film Sense FS-1™多波長(zhǎng)橢偏儀這款功能強(qiáng)大的多波長(zhǎng)橢偏儀，售價(jià)只是單一波長(zhǎng)橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1可應(yīng)用于研究實(shí)驗(yàn)室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域。
主要特點(diǎn)
4 個(gè) LED 光源：藍(lán)色（465nm），綠色（525nm）， 黃色（580nm），紅色（635nm）
橢偏儀探測(cè)器中無(wú)可移動(dòng)部件
的膜厚精密性，大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于 0.001nm（1 秒獲取數(shù)據(jù)），對(duì)于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm
集成計(jì)算機(jī)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析，自帶瀏覽器界面，可兼容任何現(xiàn)代計(jì)算機(jī)，筆記本或平板電腦
優(yōu)勢(shì)
壽命長(zhǎng)（長(zhǎng)達(dá)50,000小時(shí)），更換 LED 燈便宜，校準(zhǔn)時(shí)間短或無(wú)需PM程序
快速測(cè)量（10ms 內(nèi)獲得多波長(zhǎng)數(shù)據(jù)）和*性能穩(wěn)定
測(cè)量精確，只有橢偏儀可以實(shí)現(xiàn)
軟件設(shè)置和維護(hù)簡(jiǎn)單
標(biāo)準(zhǔn) FS-1 配置
65°入射角
手動(dòng)放置樣品和調(diào)節(jié)高度
樣品尺寸大直徑200mm 和厚度23mm
樣品偏轉(zhuǎn)范圍+/-20
樣品上光束尺寸 5 x 12 mm
結(jié)構(gòu)緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)
