Film Sense FS-1™多波长椭偏仪
LED 光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量，就可以获得非常精密和准确的数据。
Film Sense FS-1™多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量，就可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常 数和其他薄膜特性。
Film Sense FS-1™多波长椭偏仪这款功能强大的多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏仪和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域。
主要特点
4 个 LED 光源：蓝色（465nm），绿色（525nm）， 黄色（580nm），红色（635nm）
椭偏仪探测器中无可移动部件
的膜厚精密性，大多数样品精密度优于 0.001nm（1 秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm
集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平板电脑
优势
寿命长（长达50,000小时），更换 LED 灯便宜，校准时间短或无需PM程序
快速测量（10ms 内获得多波长数据）和*性能稳定
测量精确，只有椭偏仪可以实现
软件设置和维护简单
标准 FS-1 配置
65°入射角
手动放置样品和调节高度
样品尺寸大直径200mm 和厚度23mm
样品偏转范围+/-20
样品上光束尺寸 5 x 12 mm
结构紧凑(180 x 400 mm) 和轻巧(4.8 kg)
