XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格
XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運(yùn)動定位臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，具有剛度大、分辨 率高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。
XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運(yùn)動定位臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，具有剛度大、分辨 率高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。
特性 XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格
• 位移60μm • 亞毫秒響應(yīng)時間 • 承載5kg • 1~3維自由組合 • 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S.
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1~3維平移臺 | 產(chǎn)品外觀 | 直驅(qū)機(jī)構(gòu)式驅(qū)動示意圖 |
XP-63X系列壓電納米定位臺可通過轉(zhuǎn)接板連接， 組成XY，XZ，XYZ多種運(yùn)動結(jié)構(gòu)。 多種規(guī)格型號可選。 柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。 |  |  |
小體積、高精度、響應(yīng)速度快 | 傳感器類型 | 頻率負(fù)載曲線 | |
XP-63X系列壓電納米定位臺結(jié)構(gòu)設(shè)計，具有大機(jī)械剛度、大承載、高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負(fù)載情況下也具有高的使用頻率，響應(yīng)時間可 以實(shí)現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負(fù)載，響應(yīng)時間僅為5ms。 XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺設(shè)備集成。 閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實(shí)時檢測位置信號 并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進(jìn)行修正，從而實(shí)現(xiàn)納米級的精密定位。 |  |  |
應(yīng)用
• 半導(dǎo)體技術(shù) • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制
應(yīng)用實(shí)例：宏微復(fù)合機(jī)構(gòu) 采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的精確力控制實(shí)驗(yàn)。 |
