芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺(tái)特性
2~3維運(yùn)動(dòng)
位移行程40μm
體積小巧
亞毫秒響應(yīng)時(shí)間
二、三維平移臺(tái)
P13壓電納米定位臺(tái),包括二維XY軸、三維XYZ軸兩個(gè)規(guī)格型號(hào)。
芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺(tái)閉環(huán)階躍穩(wěn)定時(shí)間圖
P13.XY閉環(huán)版本40μm行程的穩(wěn)定時(shí)間約為30ms。
超小體積、無(wú)機(jī)械間隙、高分辨率
固態(tài)鉸鏈平行四邊形設(shè)計(jì)原理,平行運(yùn)動(dòng)無(wú)機(jī)械間隙,該結(jié)構(gòu)原理使其具有非常高的分辨率,運(yùn)動(dòng)直
線性好。
P13系列壓電納米定位臺(tái)可以很容易的安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測(cè)量裝置(應(yīng)變計(jì)傳
感器)消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺(tái)適用于動(dòng)態(tài)使用,是掃描應(yīng)用的理想選擇。
P13 系列壓電納米定位臺(tái)為二維 XY、三維 XYZ 壓電平臺(tái),臺(tái)體采用平行運(yùn)動(dòng)學(xué)機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,大位移為 37.5μm/ 軸。開(kāi)環(huán)閉環(huán)版本可供選擇。產(chǎn)品主要應(yīng)用于光學(xué)顯微、生物科技等領(lǐng)域。
超小體積、無(wú)機(jī)械間隙、高分辨率
固態(tài)鉸鏈平行四邊形設(shè)計(jì)原理,平行運(yùn)動(dòng)無(wú)機(jī)械間隙,該結(jié)構(gòu)原理使其具有非常高的分辨率,運(yùn)動(dòng)直線性好。
P13 系列壓電納米定位臺(tái)可以很容易的安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測(cè)量裝置(應(yīng)變計(jì)傳感器)消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。
P13 壓電平移臺(tái)適用于動(dòng)態(tài)使用,是掃描應(yīng)用的理想選擇。