XD770.300 系列大負載壓電納米定位臺
XD770.300 系列大負載壓電納米定位臺
壓電納米定位臺在精密定位領域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,可集成于各 類高精密裝備,為其提供納米級運動控制,且應用非常廣泛。
XD770.300 系列壓電納米定位臺為 Z 軸方向的運動平臺,行程可達 300μm,負載可達5kg,實現(xiàn)行程范圍和負載能力的雙提升,為同時有大行程、 大負載應用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器,分辨率高、 響應速度快。
產(chǎn)品特點
Z 向運動
行程達 300μm
承載達 5kg
參數(shù)可定制
可定制真空版本
典型應用
顯微掃描
光路調(diào)整
納米操控技術(shù)
激光干涉
納米光刻
生物科技
光通信
納米測量
顯微操作
納米壓印