P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
P66.X60壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅(qū)動源并采用直驅(qū)式驅(qū)動機(jī)構(gòu)的壓電位移平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達(dá)毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。
特性 P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
應(yīng)用
• 光盤驅(qū)動測試 開閉環(huán)版本可選
傳感器使用全橋配置已消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實(shí)現(xiàn)較高的線性度與重復(fù)度。
P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P66.X60S | P66.X60K | 單位 |
運(yùn)動自由度 | X | X | ||
行程（0~120V） | 48 | 48 | μm±20% | |
行程（0~150V） | 48 | 48 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS | - | ||
閉/開環(huán)分辨率 | 2 | 0.8 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.1 | - | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 | <20 | <20 | µrad | |
推/拉力 | 160/16 | 160/16 | N | |
運(yùn)動方向剛度 | 2.8 | 2.8 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 1.3 | 1.3 | kHz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時間 | 10 | 1.6 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 200 | 200 | Hz±20% |
行程 | 20 | 20 | ||
大承載 | 6 | 6 | kg | |
靜電容量 | 7.2 | 7.2 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | ||
重量 | 190 | 190 | g±5% | |
哈爾濱芯明天科技有限公司是專注于壓電納米運(yùn)動與控制系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，提供基于壓電陶瓷微位移技術(shù)的微米級行程、納米級定位精度的直線運(yùn)動產(chǎn)品，毫弧度級偏轉(zhuǎn)角度、納弧度級偏轉(zhuǎn)精度的角度運(yùn)動產(chǎn)品與配套運(yùn)動控制產(chǎn)品以及相關(guān)解決方案，是中國壓電納米定位行業(yè)開發(fā)、創(chuàng)新、開拓的先鋒。
芯明天公司主要服務(wù)于精密制造、檢測設(shè)備的生產(chǎn)制造企業(yè)以及實(shí)驗(yàn)、科研型的高校院所。經(jīng)過近20年的快速發(fā)展，芯明天的客戶已覆蓋全國各地，并遠(yuǎn)銷歐、美、日、韓等地。公司與眾多國內(nèi)外高科技企業(yè)、國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室建立了合作伙伴關(guān)系，已經(jīng)成為化的壓電精密定位產(chǎn)品生產(chǎn)廠商。
