Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式臨界點(diǎn)干燥儀多年成功經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,結(jié)合Tousimis獨(dú)立研發(fā)的觸屏控制界面全新推出的新一代產(chǎn)品。Touchscreen C 系列干燥儀具有高可靠性、高重復(fù)性、操作簡(jiǎn)便的特點(diǎn),采用*的專業(yè)觸屏軟件全自動(dòng)控制,是提高M(jìn)EMS研發(fā)與生產(chǎn)效率的*利器。
Tousimis Touchscreen Series C 系列產(chǎn)品特點(diǎn):
專為MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)制備而設(shè)計(jì)的落地式全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀,無(wú)塵室適用 大可處理8"晶圓,每次多可處理5個(gè)晶圓 標(biāo)配HF相容晶圓架和10mm方型晶圓架 標(biāo)配樣品室內(nèi)環(huán),可適配不同直徑的晶片樣品,節(jié)省LCO2用量,縮短干燥時(shí)間,提高干燥效率 LCD觸控屏 可編程觸屏控制界面,全自動(dòng)控制 多種默認(rèn)處理程序,也可自定義程序并重復(fù)使用 慢速充液功能,適用于各種易損樣品 “Stasis”程序用于處理較厚或較難干燥的樣品 高效內(nèi)部冷卻回路,快速降溫,節(jié)省40%LCO2 內(nèi)置式SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO2,消除靜電及吹掃噪音 外置兩級(jí)過(guò)濾系統(tǒng),可過(guò)濾LCO2內(nèi)0.08μm以上雜質(zhì) 外置吹掃后過(guò)濾器,便于儀器維護(hù) 非機(jī)械式吹掃攪拌技術(shù),免維護(hù) 內(nèi)置壓力控制模塊,自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性 精確參數(shù)控制,確保處理結(jié)果重復(fù)性 樣品室設(shè)有照明燈及觀察窗,便于觀察樣品狀態(tài) 無(wú)塵室防靜電兼容設(shè)計(jì) 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)
|