Autosamdri-815, Series B 臨界點干燥儀
- 方晶和1”圓晶MEMS釋放后的超臨界點干燥儀;
- 通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結果的可重復性;
- 電磁閥門以及密封適用于LCO2、乙醇及丙酮;
- 內表面適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
- 可重復設定操作參數確保了結果的可重復性;
- 每次運行可以處理5×10mm的方晶或5×1”的圓晶,(提供可以兼容HF的樣品架,方便處理樣品);
- 集成自動控溫;
- 內置圓盤裂片保證安全;
- 每個操作模式LED顯示,一目了然;
- 潔凈室和防靜電兼容設計;
- *的固態(tài)電子系統(tǒng);
- 高效隔熱冷卻系統(tǒng):在90秒內可以把樣品室從室溫冷卻到操作所需溫度;
- 靜態(tài)壓力控制模塊,自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性;
- 0.4μm內部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;
- 內腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內部狀態(tài);
- 微型計量閥門帶游標卡尺,可實現(xiàn)重復設定及控制流速;
- 標配SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
- 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;
規(guī)格:
- 外部尺寸:寬14.0” (35.6 cm) × 高10.25” (26.0 cm) × 長21.5” (54.6cm);
- 占地尺寸:寬36” (92 cm) × 深30” (76 cm);
- 樣品室尺寸:內徑1.25” × 深1.25”; 樣品室容積:25ml
- 溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;
- Purge時間范圍:0-45 min
- 120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標準配件:
- 高壓不銹鋼LCO2管(內襯Teflon) 3 米長;
- 外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預先與LCO2管連接,安裝方便;
- SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,降低排氣噪音;
- 防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;
- 內部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護線路、晶片和閥門
- 流量計,可精確控制BLEED的排氣速率;
- 樣品室O型圈2個,樣品室照明燈2個,5A保險絲2個;
- HF兼容的10mm方晶PTFE插片架,每次操作最多能裝載5個晶片
- 安裝工具一套
- 用戶手冊;
- 所有部件一年質保。