名稱：Tousimis B系列臨界點(diǎn)干燥儀
型號(hào)：Automegasamdri®-915B? Series B
產(chǎn)品編號(hào)：8785C
樣品室尺寸：6.5“（內(nèi)徑）×1.25“（深）
樣品室容積：679 ml
樣品室內(nèi)環(huán)：6“, 4“, 3“, 2“, 1.25“
HF相容晶元架：6“, 4“, 3“, 2“, 10mm
設(shè)備尺寸：36.2 x 29.8 x 63.5 cm
Tousimis B系列臨界點(diǎn)干燥儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
專為MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制備而設(shè)計(jì)的臺(tái)式全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀，防靜電無塵室適用
標(biāo)配不同尺寸晶圓架，每次可處理5個(gè)晶圓樣品
標(biāo)配樣品室內(nèi)環(huán)套裝，適配不同的樣品尺寸，減少LCO2消耗，提高干燥效率
高效絕熱冷卻系統(tǒng)，可快速降溫并在充液、吹掃時(shí)自動(dòng)保溫
SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO2，消除靜電及吹掃噪音
內(nèi)置壓力控制模塊，自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性
外置0.5μm的LCO2過濾裝置，去除水、油和顆粒物
內(nèi)置吹掃后過濾器，可過濾LCO2內(nèi)0.4μm以上雜質(zhì)
每個(gè)操作模式均有LED顯示，一目了然
樣品室設(shè)有照明燈及觀察窗，便于觀察樣品狀態(tài)
帶刻度的微型計(jì)量閥門控制LCO2流量
微處理器控制，可全自動(dòng)操作
操作參數(shù)可重復(fù)設(shè)定，確保結(jié)果可重復(fù)性
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)
Tousimis B系列臨界點(diǎn)干燥儀標(biāo)配附件：
柔性高壓LCO2進(jìn)液管線，3.0 m（無塵室）
防靜電排空管線
外置SOTER冷凝器（分離乙醇和CO2，消除靜電及吹掃噪音）
樣品室內(nèi)環(huán)（僅適用于915B與815B）可適配不同直徑晶圓
HF相容晶圓架（僅適用于915B與815B）與10mm方晶架，每個(gè)支架多可放置5片晶圓樣品
備用樣品室密封環(huán)（3），樣品室燈泡（2），保險(xiǎn)絲（2）
安裝工具組
用戶說明書及數(shù)據(jù)表
2年質(zhì)保及終生免費(fèi)技術(shù)支持
