1~3維壓電平臺/平移臺具有非常快速和緊湊的傾斜裝置,它提供一個范圍2.5 mrad傾斜角度及亞毫秒的響應(yīng)時間。可配備配有一個15 x 4光學(xué)鏡片。
1~3維壓電平臺/平移臺產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
??3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝,嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu);
5.采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。
技術(shù)參數(shù):
軸向: 3
行程: 9-400 μm
分辨率: 0.02-0.8 nm
共振頻率: 140-2200Hz
推力: 9-1800N
拉力: 1-180N
應(yīng)用實例:
AFM顯微鏡,激光校準(zhǔn),低溫操作應(yīng)用,微型加工技術(shù),半導(dǎo)體,掃描應(yīng)用
上海納動納米位移技術(shù)有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案,滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、納米級光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。