二維壓電平移臺采用壓電馬達(dá)驅(qū)動和整體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，避免了傳統(tǒng)伺服電機或步進(jìn)電機因結(jié)構(gòu)和驅(qū)動方式造成的回程誤差。平臺采用了光柵及專業(yè)的運動控制卡進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋及運動控制，確保了該平臺的運動特性及定位精度。
二維壓電平移臺主要應(yīng)用
l 納米刻蝕
l 超分辨顯微鏡
l 共聚焦顯微鏡
l 自適應(yīng)光學(xué)
l 粒子追蹤
產(chǎn)品特點：
1.直驅(qū)方式，無空回誤差
2.可在斷電狀態(tài)下長時間保持在同一位置
3.全閉環(huán)光柵反饋，重復(fù)定位精度優(yōu)于±0.5um（有0.5um和0.05um分辨率兩個系列的標(biāo)準(zhǔn)品）
4.靈活的平臺控制程序，可滿足多種運動需求
選型表：
產(chǎn)品型號 | ESLP50-2 | ESLP100-2 | ESLP150-2 |
行程 | 50 | 100 | 150 |
zui大推力（N） | 16 | ||
zui大速度（mm/S） | 200 | ||
zui小步長（nm） | 50 | ||
光柵分辨率（um） | 0.5(1um和50nm)光柵可選 | ||
重復(fù)定位精度（um） | <±2um | ||
zui大負(fù)載（kg） | 3.5 | 4.5 | 5 |
結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 鋁合金/不銹鋼 | ||
上海納動納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動納米位移技術(shù)有限公司本著“創(chuàng)新，立足，精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標(biāo)，力求*國內(nèi)技術(shù)空白，打破國外對中國的技術(shù)壁壘和國外產(chǎn)品壟斷中國市場的局面，為中國智能裝備產(chǎn)業(yè)和科研領(lǐng)域提供*運動和測控解決方案提供關(guān)鍵技術(shù)和打造堅實基礎(chǔ)。
