Z軸壓電納米平移臺是一款小尺寸高速壓電掃描臺，掃描范圍10μm×10μm，亞納米分辨率，無負載自振頻率高達1200Hz。結(jié)構(gòu)緊湊，適用于掃描顯微/原子力顯微，以及空間受限，且需要做高頻掃描的應(yīng)用。
u Z軸壓電納米平移臺 主要應(yīng)用
磁頭和磁盤驅(qū)動測試、計量學(xué)、干涉度量學(xué)、原子力顯微鏡等
u 主要特點
亞納米的分辨率
高的帶寬
高速響應(yīng)
高的可靠性
結(jié)構(gòu)緊湊
壓電陶瓷驅(qū)動
柔性鉸鏈設(shè)計
電容位移傳感器閉環(huán)反饋
技術(shù)參數(shù)：
| 型號 | 3715263 |
| 尺寸(mm) | 40 x 40 x 30 |
| zui大負載(kg) | 0.5 |
| zui大推力(N) | 100 / 10 |
| 自重(g) | 180 |
| 運動軸 | X|Y |
| 閉環(huán)行程(µm) | 10|10 |
| 開環(huán)行程(µm) | 15|15 |
| 噪聲值(nm) | 0.2|0.2 |
| 3715263 | |
| 剛度(N/µ) | 18.0|18.0 |
| 共振頻率(Hz) | 1200|1200 |
| 穩(wěn)態(tài)時間(ms) | 5|5 |
| 線性度(%) | 0.01|0.01 |
| 電容量(µF) | 0.5|0.5 |
| 集成傳感器 | 納米精度電容位移傳感器 |
| 電纜長度（m) | 2 |
| 控制器 | LC.402 |
| 材質(zhì) | Invar |
上海納動納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動納米位移技術(shù)有限公司本著“創(chuàng)新，立足，精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標，力求*國內(nèi)技術(shù)空白，打破國外對中國的技術(shù)壁壘和國外產(chǎn)品壟斷中國市場的局面，為中國智能裝備產(chǎn)業(yè)和科研領(lǐng)域提供*運動和測控解決方案提供關(guān)鍵技術(shù)和打造堅實基礎(chǔ)。
