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儀表網(wǎng)>全部分類 >測量/計量 >表面測量儀器 >臺階儀 返回產(chǎn)品中心
臺階儀

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號

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適用行業(yè)
  • NS200表面臺階輪廓儀
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    摘要NS系列表面臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。應(yīng)用場景適應(yīng)性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制...

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  • NS200臺階儀探針輪廓儀
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    摘要中圖儀器NS系列臺階儀探針輪廓儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面...

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  • NS200膜厚臺階儀
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    摘要NS系列膜厚臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。儀器采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀...

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  • NS200接觸式臺階儀
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    摘要 中圖儀器NS系列接觸式臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

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  • 摘要 中圖儀器NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。它可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

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  • NS200國產(chǎn)臺階形貌儀
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    摘要 NS200國產(chǎn)臺階形貌儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • NS200國產(chǎn)臺階膜厚儀
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    摘要 NS200國產(chǎn)臺階膜厚儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • NS200臺階輪廓儀
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    摘要 NS系列臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

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  • 摘要 NS系列微觀表面臺階顯微檢測儀是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī),即時進(jìn)行高精度定位測量。可以將探針的形貌圖像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,使得測量更加直觀。

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  • NS200臺階厚度測量儀
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    摘要 NS200臺階厚度測量儀能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀。

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  • NS200臺階厚度儀
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    摘要 針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景,NS系列臺階厚度儀結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標(biāo)志位;對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,實現(xiàn)一鍵多點位測量;提供SPC統(tǒng)計分析功能,直觀分析測量數(shù)值變化趨勢。

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  • NS200探針式臺階儀
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    摘要NS200探針式臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用...

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  • NS200國產(chǎn)臺階儀
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    摘要 NS200國產(chǎn)臺階儀能夠測量幾個納米到330μm的臺階高度。這使其可以準(zhǔn)確測量在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;可以測量表面的2D形狀或翹曲。也能夠測量在生產(chǎn)中包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件所產(chǎn)生的應(yīng)力。

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  • 美能探針式臺階儀SP200
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    摘要表面微觀特征是材料、化學(xué)、精密制造等領(lǐng)域的主要研究內(nèi)容,準(zhǔn)確地評價表面微觀形貌、表面特征等,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析和加工工藝的改善都具有重要意義。在半導(dǎo)體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領(lǐng)域,表面臺階高度、膜厚的準(zhǔn)確測量具有十分重要的價值,尤其是臺階高度是...

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  • 摘要 臺階儀

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  • 摘要 產(chǎn)品描述:Dektak Pro是布魯克新發(fā)布的一款的探針式輪廓儀/臺階儀,基于第十一代Dektak®系統(tǒng),具有4 ?重復(fù)性的優(yōu)異表現(xiàn),并提供200毫米平臺選項

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  • P-7P-7 臺階儀
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    摘要 P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。

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  • P-170P-170 臺階儀
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    摘要P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將行業(yè)的P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機(jī)械傳送臂系統(tǒng)提供了極低的擁有成本,適用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170可以對臺...

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  • P-17P-17 臺階儀
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    摘要P-17是第八代臺式探針輪廓儀,是40多年的表面量測經(jīng)驗的結(jié)晶。該系統(tǒng)業(yè)界,支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。 ...

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  • 摘要Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量,以及翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇...

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  • 摘要Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)...

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  • 摘要 KLA D-300探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

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  • D500 高精度臺階儀
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    摘要 產(chǎn)品介紹 Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

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  • 摘要 產(chǎn)品介紹 KLA的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及亞埃級的分辨率。

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  • 摘要 產(chǎn)品介紹 KLA是半導(dǎo)體在線檢測設(shè)備市場較大的供應(yīng)商,在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、 MEMS 、太陽能、光電子 以及其他領(lǐng)域中有著不俗的。 P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng),歷經(jīng)技術(shù)積累和不 斷迭代更新,集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。

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  • 摘要產(chǎn)品介紹 P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將行業(yè)的P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機(jī)械傳送臂系統(tǒng)提供了低成本,適用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170可以對...

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  • 摘要 產(chǎn)品介紹 P-17是第八代臺式探針輪廓儀。該系統(tǒng)業(yè)界,支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

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  • 摘要 產(chǎn)品介紹 Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。光學(xué)杠桿傳感 器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

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  • ET200日本KOSAKA臺階儀ET200
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    摘要 日本KOSAKA臺階儀ET200用于測量半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。

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  • 摘要 產(chǎn)品描述:DektakXT臺階儀(探針式表面輪廓儀)的技術(shù)突破,使納米尺度的表面輪廓測量成為可能。

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  • 臺階儀 ET200A
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    摘要 適用于二次元表面納米等級段差臺階測定、粗糙度測定。

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  • DektakXT臺階儀
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    摘要布魯克 DektakXT 臺階儀(探針式表面輪廓儀)是一項創(chuàng)新性的設(shè)計,可以提供的重現(xiàn)性,重現(xiàn)性低于4?。臺階儀這項性能的提高達(dá)到了過去四十年Dektak 技術(shù)創(chuàng)新的,更加鞏固了其行業(yè)地位。通過整合其行業(yè)產(chǎn)品,DektakXT 實現(xiàn)了性能。操作簡易,從研發(fā)到質(zhì)量控制都...

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  • 臺階儀D-300/500
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    摘要 臺階儀D-300/500

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  • 臺階儀D-600
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    摘要 D-600可以對幾納米到1200µm的2D和3D臺階高度、粗糙度、應(yīng)力進(jìn)行測量。

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  • 臺階儀P-17
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    摘要 P-17支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,單次掃描高達(dá)200mm,無需圖像拼接測量。

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  • D-300臺階儀
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    摘要 Alpha-StepD-300探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量

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  • 摘要 品 牌:Bruker 產(chǎn) 地:德國 型 號:DEKTAK XT

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  • 摘要 日本KOSAKA ET200 臺階儀,日本KOSAKA ET200 臺階儀配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設(shè)計,可直接觀察到探針工作時的狀態(tài),更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。

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  • 超微力臺階儀/膜厚儀
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    摘要 超微力臺階儀/膜厚儀StylusSurfaceProfilometers簡介:超微力臺階儀/膜厚儀Alpha-StepIQ是探針接觸式表面輪廓儀(臺階儀.膜厚儀)

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  • 摘要 日本KOSAKAET200接觸式臺階儀日本KOSAKAET200接觸式臺階儀基于Windows操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等

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  • 布魯克DektakXT臺階儀
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    摘要 布魯克DektakXT臺階儀

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  • 摘要 產(chǎn)品描述P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將行業(yè)的P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合

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  • 摘要 產(chǎn)品描述P-17臺式探針式輪廓儀是第八代臺式探針輪廓儀,是40多年的表面量測經(jīng)驗的結(jié)晶

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  • 摘要 產(chǎn)品描述Alpha-StepD-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量,以及翹曲度和應(yīng)力的2D測量

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  • 摘要 產(chǎn)品描述P-7臺式探針式輪廓儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境

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最新產(chǎn)品\ NEW PRODUCT
  • 高精度探針式臺階儀

    NS系列高精度探針式臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。單拱龍門式設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
  • 探針式接觸臺階高度儀

    NS系列探針式接觸臺階高度儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
  • 國產(chǎn)高精度臺階儀

    NS系列國產(chǎn)高精度臺階儀采用了磁吸式測針,當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時,可現(xiàn)場快速更換掃描測針,并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定,確保換針后的精度和重復(fù)性,減少維護(hù)煩惱。
  • 中圖儀器國產(chǎn)臺階儀

    中圖儀器國產(chǎn)臺階儀NS系列是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
  • 納米級臺階高度儀

    NS系列納米級臺階高度儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
  • 探針接觸式臺階儀

    NS系列探針接觸式臺階儀用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
  • 涂層臺階膜厚儀

    中圖儀器NS系列涂層臺階膜厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整。
  • 納米級精度臺階儀

    NS系列納米級精度臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
  • 軟膜材料臺階高度測量儀

    NS系列軟膜材料臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
  • 亞埃級分辨率臺階儀

    NS系列亞埃級分辨率臺階儀是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
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